[实用新型]一种蒸镀组件有效
| 申请号： | 201721401560.3 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207749177U | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 王宏宇;谢威;郭晓霞;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈卫;禹小明 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热槽 挡板单元 蒸镀 坩埚 本实用新型 有机材料沉积 循环利用率 拆卸清洗 蒸镀腔体 洁净度 腔体 制备 挡住 体内 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽（1），所述加热槽（1）内安装有坩埚（2），其特征在于：所述加热槽（1）与坩埚（2）之间还设置有挡板单元（3），所述挡板单元（3）的顶部设有外边缘（4），底部向内翻折有凹槽（5）。
2.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述挡板单元（3）是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体。
3.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述凹槽（5）的深度为2~5厘米。
4.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述凹槽（5）为V型凹槽。
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