[实用新型]一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统

说明书

本实用新型公开了一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，包括：废液存储装置、电解再生装置、以及一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，一次尾气处理装置分别与蚀刻产线及电解再生装置连接，二次尾气处理装置的入口与该一次尾气处理装置连接，出口与蚀刻产线连接，且电解再生装置的出口与蚀刻产线连接。通过一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，电解再生装置在电解过程中产生的尾气被充分吸收，在处理尾气的同时还能实现蚀刻液再生，该再生蚀刻液返回蚀刻产线继续工作，因此本实用新型可以将蚀刻工作中产生的废气和废液充分回收利用，实现资源循环。

技术领域

本实用新型涉及化学领域，尤其涉及一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统。

背景技术

在目前的印刷线路板(PCB)的蚀刻工序中，酸性蚀刻是一种常见的蚀刻方式。酸性蚀刻主要是应用酸性氯化物蚀刻液来蚀刻覆铜板上的铜，同时应用循环电解的技术来电沉积蚀铜后的蚀刻液中的铜，以保证蚀刻液中的铜含量的平衡浓度，同时恢复蚀刻废液的各项技术参数，如Cu²⁺的浓度、酸度、氧化还原电位(Oxidation-Reduction Potential，OPR)等，OPR表征介质氧化性或还原性的相对程度，使经过电化学再生的蚀刻液重新返回PCB生产线，进行蚀铜的操作(反应式包括：Cu²⁺+Cu→Cu⁺)，达到资源循环应用的目的。在电沉积铜的电化学反应中，铜离子在阴极还原成金属铜，在阳极上则是氯离子氧化，并以氯气的形式逸出电沉积体系。目前对电解尾气的处理方法主要是用氯化亚铁或硫代硫酸钠溶液等还原性物质吸收，处理效果虽好，但最终产生大量废水需另外处理，增加处理成本，也不利于环境保护。

实用新型内容

本实用新型公开了一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，可以解决在电解蚀刻废液过程中产生的废气和废液问题，降低处理成本，实现资源的循环利用。

为实现上述目的，本实用新型公开了一种酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，其特征在于，包括：尾气处理装置、电解再生装置、废液存储装置和蚀刻产线；

所述尾气处理装置包括一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，所述一次尾气处理装置分别与所述蚀刻产线及所述电解再生装置连接，用于混合所述蚀刻产线产生的蚀刻废液与电解过程排放的尾气，提高所述蚀刻废液的氧化还原电位OPR；

所述二次尾气处理装置的入口与所述一次尾气处理装置连接，所述二次尾气处理装置的出口与所述蚀刻产线连接，以使满足蚀刻要求的再生蚀刻液返回蚀刻工序继续工作；

所述废液存储装置连接在所述一次尾气处理装置与所述电解再生装置之间，且所述电解再生装置的出口与所述蚀刻产线连接。

本实用新型提供了一种结构简单、实用性强的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统，通过一次尾气处理装置和二次尾气处理装置，蚀刻废液充分吸收电解过程中产生的尾气，并且，在处理尾气的同时还能实现蚀刻液再生，该再生蚀刻液返回蚀刻产线继续工作，因此本实用新型可以将蚀刻工作中产生的废气和废液充分回收利用，减少处理成本，实现资源循环。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例提供的的技术方案，下面将对本实用新型中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型第一实施例提供的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统结构图；

图2为本实用新型第二实施例提供的酸性蚀刻液电解再生及尾气处理系统细化图。

具体实施方式