[实用新型]一种随动探针三轴对位机构

权利要求书

1.一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：其包括：机座(1)、以可转动的方式安装于机座(1)上的第一旋转架(2)、安装于机座(1)上并用于驱动该第一旋转架(2)相对机座(1)旋转的第一转动模组(3)、以可转动的方式安装于第一旋转架(2)上的第二旋转架(4)以及安装于第一旋转架(2)上并用于驱动该第二旋转架(4)相对第一旋转架(2)旋转的第二转动模组(5)和安装于第二旋转架(4)上的随动探针三轴校正模组(6)、安装于第二旋转架(4)上并用于装载产品的治具(7)，其中，所述第一旋转架(2)旋转的方向与第二旋转架(4)旋转的方向垂直；所述随动探针三轴校正模组(6)包括有安装于第二旋转架(4)侧边的三轴校正座(61)以及分别沿XYZ三轴方向安装于三轴校正座(61)中的X轴感应探针(62)、Y轴感应探针(63)以及Z轴感应探针(64)。

2.根据权利要求1所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述三轴校正座(61)外围还安装有一金属罩(65)。

3.根据权利要求2所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述三轴校正座(61)上端设置有一槽体(611)以及按XYZ三轴方向分布并连通槽体(611)的X轴安装槽(612)、Y轴安装槽(613)以及Z轴安装槽(614)。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述第一旋转架(2)两端均成型有第一轴体，该第一轴体穿设于所述机座(1)上设置的第一轴承中；所述第一转动模组(3)包括有安装于机座(1)上的第一安装架(31)、安装于第一安装架(31)中的第一减速机(32)以及与该第一减速机(32)匹配安装的第一伺服电机(33)，该第一减速机(32)通过第一联轴器(34)与第一旋转架(2)上的第一轴体连接。

5.根据权利要求4所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述第二旋转架(4)两端均成型有第二轴体，该第二轴体穿设于所述第一旋转架(2)上设置的第二轴承中；所述第二转动模组(5)包括有安装于第一旋转架(2)上的第二安装架(51)、安装于第二安装架(51)中的第二伺服电机(52)，该第二伺服电机(52)的转轴通过第二联轴器(53)与第二旋转架(4)上的第二轴体连接。

6.根据权利要求4所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述治具(7)上成型有用于装载产品的型槽(71)，该型槽(71)下部设置有防滑凸纹(711)。

7.根据权利要求5所述的一种随动探针三轴对位机构，其特征在于：所述治具(7)上还设置有用于夹持定位产品的第一、第二夹持块(72、73)，该第一、第二夹持块(72、73)位于型槽(71)上方。