[实用新型]聚四氟乙烯表层的排气管道有效
申请号: | 201721406593.7 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN207279043U | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 蔡聪正 | 申请(专利权)人: | 嘉善天和半导体制程排气工业有限公司 |
主分类号: | F16L9/12 | 分类号: | F16L9/12;F16L57/04 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人: | 姚海波 |
地址: | 314111 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 聚四氟乙烯 表层 排气 管道 | ||
技术领域
本实用新型属于机械技术领域,涉及一种聚四氟乙烯表层的排气管道。
背景技术
半导体生产过程中会产生高温废气,通过管道将上述高温废气引导至过滤处理处,然后再向外界排放纯净空气。
现有的管道为了达到耐高温的要求,通常采用本身耐高温材质的管体,可以看出,这样明显提高了管道成本。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题,提供一种结构紧凑且稳定性高的聚四氟乙烯表层的排气管道。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:
一种聚四氟乙烯表层的排气管道,包括呈管状的本体,其特征在于,还包括连接管和聚四氟乙烯涂层,上述连接管位于本体内,上述连接管位于本体内,连接管内端具有凸出的挡沿且挡沿抵靠在在本体内端,上述本体外端处具有定位螺母,上述定位螺母与连接管外端螺纹连接且定位螺母抵靠在本体外端,上述连接管上具有若干贯穿的定位孔,上述聚四氟乙烯涂层包覆在连接管内侧。
在挡沿和定位螺母的作用下,连接管能稳定的定位在本体内。由于连接管上具有若干贯穿的通孔,涂覆的聚四氟乙烯材料不仅能在连接管内侧形成稳定的聚四氟乙烯涂层,而且还有部分聚四氟乙烯材料填充在通孔处,最终保证聚四氟乙烯涂层与连接管稳定连接在一起。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,上述连接管与本体之间具有间隙。
聚四氟乙烯材料由通孔进入该间隙处,能保证连接管与聚四氟乙烯涂层之间连接更加稳定。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述挡沿与连接管为一体式结构。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述本体外端具有凹入的连接座,上述定位螺母位于连接座处。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述定位螺母端部与本体外端相平齐。
这样的结构能提高整个排气管道的结构紧凑性。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述挡沿上具有用于与装卸工具相联的连接部。
连接部类似于螺钉头部的结构,由于其结构公知在次就不在赘述。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述本体内端与挡沿之间还具有能避免两者刚性接触的接触机构。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述的接触机构包括挡沿上呈环形凹入的垫圈座和套在连接管上的垫圈,上述垫圈嵌于垫圈座处且部分伸出挡沿。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述垫圈为橡胶材料。
在上述的聚四氟乙烯表层的排气管道中,所述的垫圈为弹性卡圈。
无论是采用柔性的垫圈还是采用弹性的卡圈都能避免挡沿与本体刚性接触。
与现有技术相比,本聚四氟乙烯表层的排气管道由于通过连接管能将聚四氟乙烯涂层稳定的连接在本体内,因此,不仅结构紧凑,而且稳定性高。
同时,连接管与本体之间装卸方便,因此,整个排气管道安装还比较简单快速,具有很高的实用价值。
附图说明
图1是本聚四氟乙烯表层的排气管道的剖视结构示意图。
图中,1、本体;2、连接管;2a、挡沿;2a1、垫圈座;3、聚四氟乙烯涂层;4、定位螺母;5、垫圈。
具体实施方式
如图1所示,本聚四氟乙烯表层的排气管道包括呈管状的本体1,还包括连接管2和聚四氟乙烯涂层3,上述连接管2位于本体1内,上述连接管2位于本体1内,连接管2内端具有凸出的挡沿2a且挡沿2a抵靠在在本体1内端,上述本体1外端处具有定位螺母4,上述定位螺母4与连接管2外端螺纹连接且定位螺母4抵靠在本体1外端,上述连接管2上具有若干贯穿的定位孔,上述聚四氟乙烯涂层3包覆在连接管2内侧。
上述连接管2与本体1之间具有间隙。
所述挡沿2a与连接管2为一体式结构。
所述本体1外端具有凹入的连接座,上述定位螺母4位于连接座处。
所述定位螺母4端部与本体1外端相平齐。
所述挡沿2a上具有用于与装卸工具相联的连接部。
所述本体1内端与挡沿2a之间还具有能避免两者刚性接触的接触机构。
所述的接触机构包括挡沿2a上呈环形凹入的垫圈座2a1和套在连接管2上的垫圈5,上述垫圈5嵌于垫圈座2a1处且部分伸出挡沿2a。
所述垫圈5为橡胶材料。根据实际情况,所述的垫圈5为弹性卡圈也是可形的。
在挡沿和定位螺母的作用下,连接管能稳定的定位在本体内。由于连接管上具有若干贯穿的通孔,涂覆的聚四氟乙烯材料不仅能在连接管内侧形成稳定的聚四氟乙烯涂层,而且还有部分聚四氟乙烯材料填充在通孔处,最终保证聚四氟乙烯涂层与连接管稳定连接在一起。
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