[实用新型]分选单元和检验系统有效

专利信息
申请号: 201721409560.8 申请日: 2017-10-24
公开(公告)号: CN207641886U 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 马库斯·J·施托佩尔;阿萨夫·施勒岑杰 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B07C5/34 分类号: B07C5/34;B07C5/36
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 料箱 分选单元 终端受动器 搬运装置 检验系统 分选系统 先前位置 分选 基板 安置
【权利要求书】:

1.一种分选单元,其特征在于包括:

分选系统,所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件;

多个料箱,基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中;以及

旋转料箱搬运装置,所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。

2.如权利要求1所述的分选单元,其中所述多个料箱被布置成圆形布局,并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。

3.如权利要求2所述的分选单元,其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。

4.如权利要求3所述的分选单元,其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器同时绕着所述弧形路径移动。

5.如权利要求1所述的分选单元,其中所述料箱搬运装置包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件,所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。

6.如权利要求1所述的分选单元,其中所述基板夹持件垂直地定位在所述多个料箱上方。

7.如权利要求6所述的分选单元,进一步包括直线式输送装置,所述直线式输送装置定位在所述可旋转支撑件下方。

8.一种检验系统,其特征在于包括:

装载单元;

模块单元,所述模块单元包括一个或多个计量站;以及

分选单元,包括:

分选系统,所述分选系统包括可旋转支撑件和耦接到所述可旋转支撑件的多个基板夹持件;

多个料箱,基板通过所述分选系统被分选到所述料箱中;以及

旋转料箱搬运装置,所述料箱搬运装置具有用于接收多个料箱中的一个料箱的第一终端受动器和用于将空的料箱安置于所接收的料箱的先前位置中的第二终端受动器。

9.如权利要求8所述的检验系统,进一步包括直线式输送装置,所述直线式输送装置从所述装载单元延伸而穿过所述模块单元,并且到达所述分选单元。

10.如权利要求8所述的检验系统,其中所述多个料箱被布置成圆形布局,并且所述料箱搬运装置使所述第一终端受动器和所述第二终端受动器在弧形路径上移动。

11.如权利要求10所述的检验系统,其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器的所述弧形路径处于所述多个料箱的所述圆形布局的径向外部。

12.如权利要求11所述的检验系统,其中所述第一终端受动器和所述第二终端受动器同时绕着所述弧形路径移动。

13.如权利要求8所述的检验系统,其中所述料箱搬运装置包括旋转水平横杆和从所述水平横杆延伸的垂直耦接构件,所述第一终端受动器和所述第二终端受动器耦接到所述垂直耦接构件的远端。

14.如权利要求13所述的检验系统,其中所述基板夹持件垂直地定位在所述多个料箱上方。

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