[实用新型]一种可持续制备石墨烯的装置

权利要求书

1.一种可持续制备石墨烯的装置，包括了进气装置、反应装置和尾气循环装置，其特征在于：所述进气装置包括了进气管、气体流量控制器组件及控制阀门组件；所述反应装置包括了设置在反应装置内壁上铜管、设置在铜管上的感应线圈、与感应线圈相连的高频感应加热设备、多个镍铬铁合金托盘和多个金属多孔板；所述反应装置的底部和顶部分别设有进气口和出气口；所述反应装置的左侧设有抽气阀门，接入离所述反应装置近端的分子泵A和远端的机械泵；所述反应装置的出气口设有一个分子泵B；所述尾气循环装置包括了气体分离器A、气体分离器B和排气管。

2.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述铜管需要进行绝缘处理，所述感应线圈设置在所述铜管之上后需要用绑绕耐高温绝缘胶带。

3.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述镍铬铁合金托盘两侧焊接在所述金属多孔板上，所述金属多孔板与所述铜管为可拆卸式连接。

4.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述气体流量控制器组件包括了氢气气源、硅烷气源及氩气气源流量控制器，分别在进气口设置了氢气气源控制阀门、硅烷气源控制阀门和氩气源控制阀门。

5.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述高频感应加热设备在通电情况下，可以使得反应装置内的金属和反应物质在互感电流的作用下加热到1000℃-1200℃。

6.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述反应装置外侧设有冷却管，其材质为纤维增强塑料软管，通过软管与水箱连接。

7.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述气体分离器A设置了氢气、硅烷气和氩气混合气气源的入口，氢气出口，硅烷气、氩气混合气出口，分离器外壳，和过滤膜；所述氢气出口接入冷却器A，所述冷却器A直接接入了氢气气源流量控制器。

8.根据权利要求1所述的一种可持续制备石墨烯的装置，其特征在于：所述气体分离器B设置了硅烷气、氩气混合气气源的入口，硅烷气出口，氩气出口，分离器外壳，和过滤膜；所述硅烷气出口和所述氩气出口分别接入了冷却器B和冷却器C；所述冷却器B直接接入硅烷气源流量控制器；所述冷却器C直接接入氩气气源流量控制器。