[实用新型]一种自动退镀设备

权利要求书

1.一种自动退镀设备，用于自动退镀PVD夹具，其特征在于，所述自动退镀设备包括依次横向布置的多个退镀缸、中和缸组件、除油缸、漂洗缸以及烤炉，所述中和缸组件、所述除油缸及所述漂洗缸中的相邻两者之间均设有喷淋缸；所述自动退镀设备还包括：

驱动装置，包括支撑台、横向移动装置、竖向移动装置以及吊臂，所述横向移动装置可横向移动地设于所述支撑台上，所述竖向移动装置可竖向移动地设于所述横向移动装置，所述吊臂固定于所述竖向移动装置上，所述吊臂用于取放PVD夹具；以及，

控制器，分别与所述横向移动装置、竖向移动装置电性连接。

2.如权利要求1所述的自动退镀设备，其特征在于，所述中和缸组件包括草酸中和缸和草酸超声缸，所述草酸中和缸和草酸超声缸依次横向布置，所述草酸中和缸和所述草酸超声缸内存储有草酸中和剂，所述草酸超声缸内设有超声发生器。

3.如权利要求1所述的自动退镀设备，其特征在于，每个所述喷淋缸内设有储水缸、喷淋泵以及喷头，所述储水缸、喷淋泵以及喷头依次连接。

4.如权利要求3所述的自动退镀设备，其特征在于，所述漂洗缸还包括溢流管，所述溢流管设置在所述漂洗缸的内壁预设高度处，所述溢流管与所述储水缸连通。

5.如权利要求1所述的自动退镀设备，其特征在于，所述除油缸内设有超声发生器。

6.如权利要求1所述的自动退镀设备，其特征在于，所述横向移动装置包括：

第一马达，设置在支撑台上，所述第一马达与所述控制器电性连接；

第一齿轮，与所述第一马达驱动连接，驱动所述第一齿轮旋转；以及，

第一齿条，与所述第一齿轮啮合配合，所述第一齿条与所述竖向移动装置连接。

7.如权利要求1所述的自动退镀设备，其特征在于，所述竖向移动装置包括：

竖向架，与第一齿条连接，所述竖向架上设有供所述吊臂沿竖向滑动的竖向滑轨；

驱动装置，与所述吊臂驱动连接，所述驱动装置与所述控制器电性连接，用于驱动所述吊臂沿竖向滑动。

8.如权利要求7所述的自动退镀设备，其特征在于，所述驱动装置包括；

第二马达，设置在所述竖向架上；

第二齿轮，与所述第二马达驱动连接；

第二齿条，与所述第二齿轮啮合配合，所述第二齿条与所述吊臂连接。