[实用新型]一种宏微工作台

说明书

技术领域

本申请涉及一种微/纳米定位系统中的微位移机构，尤其涉及一种宏微工作台。

背景技术

随着科技的不断发展，随着科技的发展，精密微定位技术在微驱动各个领域，如微机电系统、光学调整、超精密加工、生物细胞操作、STM和AFM显微镜扫描平台等方面都是必不可少的，有着广阔的应用前景，并能产生巨大的社会及经济效益，己成为微驱动精密定位领域中不可或缺的关键技术之一。

发明内容

本申请要解决的技术问题是提供一种结构简单、体积小的宏微工作台。

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种宏微工作台，包括工作台本体和设于所述工作台本体上的宏动台、微动台以及驱动所述宏动台移动的驱动组件，所述微动台设于所述宏动台上，所述微动台包括一基座，所述基座上设有穿过所述基座的上表面与下表面的通槽，所述通槽将所述基座分为一动台体和一基座本体，所述通槽包括X向通槽和Y向通槽，所述Y向通槽将所述X向通槽围设在所述Y向通槽的内侧，所述X向通槽和所述Y向通槽间隔设置，所述X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽与第二U型槽，所述第一U型槽与第二U型槽的槽口相对设置，所述Y向通槽包括相对设置的第三U型槽与第四U型槽，所述第三U型槽与第四U型槽的槽口相对设置，各所述U型槽均包括一横部和设于所述横部两端并与所述横部相垂直设置的竖部，所述横部的长度长于所述竖部的长度，所述基座上设有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y 向延伸的第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，所述第一压电陶瓷穿过所述第一U型槽的横部，所述第二压电陶瓷穿过所述第二U型槽的横部。

进一步的，所述基座本体上分别设有穿过所述基座本体的侧壁并分别抵持对应的压电陶瓷的预紧顶杆。

进一步的，所述第一凹槽长度方向的延长线与第二凹槽长度方向的延长线交于所述基座的中心。

进一步的，所述基座的侧壁上还设有供所述压电陶瓷出线、与所述凹槽连通的电线保护套。

进一步的，所述动台体上设有多个安装孔。

进一步的，所述基座上还设有与所述基座可拆卸连接的底盖。

进一步的，所述驱动组件包括一丝杠螺母副和驱动所述丝杠螺母副的伺服电机，所述宏动台设于所述丝杠螺母副的丝母上。

进一步的，所述工作台本体上竖向设置有一与所述工作台本体可拆卸连接的收容腔，所述丝杠螺母副设于所述收容腔内，所述收容腔靠近所述宏动台的一侧的侧壁开设有供所述宏动台上下移动的通孔，所述收容腔的侧壁与所述宏动台接触的侧壁上还设有滑槽，所述宏动台上设有与所述滑槽相适配的滑块。

进一步的，所述宏动台与所述工作台本体之间设有一导向机构，所述导向机构包括一导套和与所述导套相适配的圆柱轴，所述宏动台与所述工作台本体中的其中一者设有导套，另一者设有圆柱轴。

本申请的有益效果是：

1)本申请的宏微工作台，通过设置X向与Y向的通槽实现X向与Y向运动控制简单解决现有的X向与Y向运动的耦合问题；

2)本申请的宏微工作台，将整个微动台的驱动部件与相应部件均设置在基座上，使整个结构较现有微动台的结构更加简单，体积更小。

3)本申请的宏微工作台，通过宏动结合微动的运动方式可以实现快速调整平台的位置。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本申请宏微工作台的结构示意图；

图2是本申请宏微工作台的微动台的结构示意图；

图3是本申请宏微工作台的宏动台的示意图；

图4是本申请宏微工作台的另一视角的结构示意图。

其中：

2是工作台本体、4是宏动台、6是微动台、8是基座、10是动台体、12 是基座本体、14是第一U型槽、16是第二U型槽、18第三U型槽、20第四U 型槽、22是第一凹槽、24是第二凹槽、26是预紧顶杆、28是电线保护套、30 是丝杠螺母副、32是伺服电机、34是收容腔、36是滑块、38是导向机构。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本申请并能予以实施，但所举实施例不作为对本申请的限定。