[实用新型]多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构

权利要求书

1.一种多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构，其特征在于，包括：

支撑台，所述支撑台包括平行间隔设置在铸锭炉下炉体内的下保温板、支撑板、和连接支撑下保温板与支撑板的支撑柱；

和坩埚，所述坩埚设置在支撑板上，所述坩埚的底部外侧开设有环形凹槽，所述坩埚的内腔底部设置有弧形槽，坩埚的内腔底部截面呈波浪线状，所述坩埚的外侧壁上均布设有环形安装槽，所述坩埚的外侧壁还设有保温条，根据不同的热场结构分布，在相应的环形安装槽内匹配插设保温条。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构，其特征在于，所述支撑板包括下支撑板、上支撑圈、枢接设置在支撑柱中部的调节轴、通过轴承支撑设置在调节轴顶部的中支撑盘、以及设置在中支撑盘与上支撑圈之间的调温盘，所述调温盘上设置有迷宫式凹槽，调温盘固定设置在调节轴上，调温盘的顶面与坩埚贴合，在所述下炉体外侧设置有驱动调节轴的驱动电机。

3.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉长晶均热坩埚结构，其特征在于，所述保温条为碳纤维材质。