[实用新型]一种电弧靶升降抬头机构

权利要求书

1.一种电弧靶升降抬头机构，其特征在于，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；

所述升降架为一竖立支架，所述升降台可沿所述升降架上、下移动地安装在所述升降架上；

所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件包括电弧靶，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件的前端，所述弧靶支承组件则以其中部铰接在所述升降台上，并保持水平；

所述限位器安装在所述升降架的顶部；

所述驱动机构通过所述传动机构与所述升降台相连；

所述驱动机构通过所述传动机构，驱动所述升降台沿所述升降架上下升降运动，并在所述升降台上升运动靠近所述升降架的顶部时，所述限位器与所述弧靶支承组件的尾端接触，下压所述弧靶支承组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在所述弧靶支承组件前端的所述弧靶组件抬头运动。

2.根据权利要求1所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述传动机构包括链轮传动机构，所述升降台的两侧分别通过一套双排链条的链轮传动机构拉动而实现上下升降运动，所述升降台上安装有两套导向滑轮组件，两套所述导向滑轮组件中的滑轮，分别抵靠着，所述升降架上的一竖立工字型钢的两个互相垂直的侧壁。

3.根据权利要求2所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述升降架下部设有一个与炉内真空环境隔绝，而与炉外连通的非真空腔室，称为升降架大气传动舱，所述传动机构还包括第一传动机构、升降架传动轴，所述驱动机构安装在所述升降架大气传动舱中，所述升降架传动轴旋转密封地安装在所述升降架大气传动舱的侧壁上，且两端水平穿出，所述驱动机构通过所述第一传动机构与所述升降架传动轴相连，驱动所述升降架传动轴旋转，所述升降架传动轴跨越非真空区到真空区，将所述驱动机构的动力传递到真空区，所述升降架传动轴的两端分别通过所述链轮传动机构与所述升降台的两侧相连，从而驱动所述升降台上下升降运动。

4.根据权利要求3所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述弧靶组件包括若干所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，若干所述电弧靶集中安装在所述弧靶安装座上，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，所述密闭箱体和所述波纹管形成一与炉内真空环境隔离的引线通道。

5.根据权利要求4所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述升降架上附有铜制拖链，所述波纹管等附在所述拖链上，当所述电弧源组件运动时，所述波纹管随所述拖链运动，拖链对所述波纹管的运动起导向作用。

6.根据权利要求5所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述弧靶组件只有一个，若干所述电弧靶在所述弧靶安装座上分两列错位排布。

7.根据权利要求6所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述弧靶支承组件可伸缩以靠近或远离罐体内壁，从而调整所述弧靶组件镀膜时的靶基距。

8.根据权利要求7所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述弧靶支承组件包括弧靶架、靶配重板、两弧靶支撑架抱箍、弧靶支撑架和两支弧靶罩伸缩支承杆，所述弧靶架两侧分别设有一弧靶架套管，两支所述弧靶罩伸缩支承杆并排设置，前端固连所述弧靶安装座，后端先分别穿过一所述弧靶支撑架抱箍后，再分别套入所述弧靶架一侧的所述弧靶架套管内，所述弧靶支撑架抱箍通过所述弧靶支撑架固定在所述弧靶架上，所述弧靶架套管上设有用于定位所述弧靶罩伸缩支承杆的紧定结构，所述靶配重板安装在所述弧靶架的尾端，其位置可调节，以平衡弧靶架另一端靶弧组件的重量，使电弧源组件保持水平；所述弧靶架通过水平的铰轴铰接在所述升降台上。

9.根据权利要求8所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述限位器是安装在所述升降架顶部的一个框架，该框架下端设置有轴承，在所述升降台足够靠近时，所述限位器通过其轴承与所述升降台上安装的弧靶支承组件的尾端滚动接触。