[实用新型]多晶硅锭铸锭炉热量缓流散装置

说明书

本实用新型属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉热量缓流散装置，包括下保温板和侧保温壁，所述侧保温壁的下端向内延伸设置有对接沿；在所述下保温板与侧保温壁之间设置有长晶热量缓流散组件，所述长晶热量缓流散组件包括外隔套和内隔套，所述内隔套与外隔套匹配滑动贴合套接，所述外隔套上端设置有向外延伸的搭接沿，当所述侧保温壁与下保温板处于分离状态时，所述外隔套通过搭接沿匹配挂设在侧保温壁上，当侧保温壁与下保温板处于闭合状态时，所述外隔套支撑设置在下保温板上。本申请有效的控制热量散失速度，并能够进行实时调整，本申请能够有效的提高多晶硅的产品质量，从而满足相关行业的进一步的发展，具有很大的市场价值。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅锭铸锭炉热量缓流散装置。

背景技术

铸造多晶硅内部存在大量的晶界，洁净的晶界呈非电活性，对少数载流子寿命并无影响或只有微小影响，而杂质的偏聚或沉淀会改变晶界的电活性，会显著降低少数载流子寿命，晶界越多，影响越大；但是研究表明，如果晶界垂直于器件表面，则晶界对材料电化学性能几乎没有影响，所以提高晶粒大小、改善长晶方向是提高多晶硅铸锭品质的有效方法。

多晶硅铸锭炉是一种硅的定向凝固设备、其功能是将多晶硅按照设定工艺经过熔化、定向结晶、退火、冷却几个阶段后成为有一定晶体生长方向的多晶硅锭。多晶硅铸锭过程所需环境即为多晶铸锭炉热场。通过合理的设计热场中加热器的功率分布，隔热材料的位置、厚度分布，可以改变最终多晶硅锭的晶体生长方向。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述存在的问题和不足，提供一种结构设计合理，在长晶过程中，能够有效的控制热流流失速度，控制长晶的质量的多晶硅锭铸锭炉热量缓流散装置。

为达到上述目的，所采取的技术方案是：

一种多晶硅锭铸锭炉热量缓流散装置，包括：下保温板；和侧保温壁，所述侧保温壁的下端向内延伸设置有对接沿；在所述下保温板与侧保温壁之间设置有长晶热量缓流散组件，所述长晶热量缓流散组件包括匹配套设在侧保温壁下端对接沿内的外隔套、和匹配枢接设置在下保温板上的内隔套，所述内隔套与外隔套匹配滑动贴合套接，所述外隔套上端设置有向外延伸的搭接沿，当所述侧保温壁与下保温板处于分离状态时，所述外隔套通过搭接沿匹配挂设在侧保温壁上，当侧保温壁与下保温板处于闭合状态时，所述外隔套支撑设置在下保温板上。

所述外隔套和内隔套上均设置有长条形散热孔，所述下保温板上设置有驱动内隔套旋转的旋转动力机构，当通过散热进行长晶过程中，所述旋转动力机构调整内隔套与外隔套之间的气流散热量。

所述旋转动力机构包括枢接设置在下炉体上的旋转轴、设置在旋转轴顶部的驱动齿轮、开设在下保温板上的一段弧形调节槽、设置在与弧形调节槽对应的内衬套上的驱动臂、固定设置在驱动臂下端的齿圈和驱动电机，所述驱动齿轮与齿圈匹配啮合传动。

所述对接沿上设置有定位柱，所述搭接沿上设置有与定位柱对应的定位孔。

采用上述技术方案，所取得的有益效果是：

本申请整体结构设计合理，其能够通过侧保温壁和下保温板的结构设计，在进行结晶过程中，有效的控制热量散失速度，并能够进行实时调整，从而为多晶硅的质量提供更好的结晶环境，通过以上结构的设计，本申请能够有效的提高多晶硅的产品质量，从而满足相关行业的进一步的发展，具有很大的市场价值。

附图说明

图1为本实用新型装配结构示意图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图中序号：100为下保温板、200为侧保温壁、201为对接沿、501为外隔套、502为内隔套、503为搭接沿、504为散热孔、505为旋转轴、506为驱动齿轮、507为弧形调节槽、508为驱动臂、509为齿圈、510为驱动电机、511为定位柱。