[实用新型]多晶硅锭铸锭炉

权利要求书

1.一种多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体包括匹配对应扣合的上炉体和下炉体，且所述上炉体和下炉体之间设置有上下开合动作的开合动力机构；

支撑台，所述支撑台包括平行间隔设置在下炉体内的下保温板和支撑板、连接支撑下保温板、支撑板和下炉体的支撑柱，所述支撑台上设置有坩埚；

加热腔室，所述加热腔室包括上保温板和呈环状的侧保温壁，所述上保温板和侧保温壁内侧设有加热器，所述侧保温壁与上炉体之间设置有升降机构，所述侧保温壁上下端均设置有向内延伸的对接沿，所述侧保温壁的对接沿与下保温板匹配叠合连接；

以及控制系统和抽排风系统；

所述下保温板与侧保温壁之间设置有长晶热量缓流散组件，所述长晶热量缓流散组件包括匹配套设在侧保温壁下端对接沿内的外隔套、和匹配枢接设置在下保温板上的内隔套，所述内隔套与外隔套匹配滑动贴合套接，所述外隔套上端设置有向外延伸的搭接沿，当所述侧保温壁与下保温板处于分离状态时，所述外隔套通过搭接沿匹配挂设在侧保温壁上，当侧保温壁与下保温板处于闭合状态时，所述外隔套支撑设置在下保温板上。

2.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，所述外隔套和内隔套上均设置有长条形散热孔，所述下保温板上设置有驱动内隔套旋转的旋转动力机构，当通过散热进行长晶过程中，所述旋转动力机构调整内隔套与外隔套之间的气流散热量。

3.根据权利要求2所述的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，所述旋转动力机构包括枢接设置在下炉体上的旋转轴、设置在旋转轴顶部的驱动齿轮、开设在下保温板上的一段弧形调节槽、设置在与弧形调节槽对应的内衬套上的驱动臂、固定设置在驱动臂下端的齿圈和驱动电机，所述驱动齿轮与齿圈匹配啮合传动。

4.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，所述坩埚的底部外侧开设有环形凹槽，所述坩埚的内腔底部设置有弧形槽，坩埚的内腔底部截面呈波浪线状，所述坩埚的外侧壁上均布设有环形安装槽，所述坩埚的外侧壁还设有保温条，根据不同的热场结构分布，在相应的环形安装槽内匹配插设保温条。

5.根据权利要求1所述的多晶硅锭铸锭炉，其特征在于，所述支撑板包括下支撑板、上支撑圈、枢接设置在支撑柱中部的调节轴、通过轴承支撑设置在调节轴顶部的中支撑盘、以及设置在中支撑盘与上支撑圈之间的调温盘，所述调温盘上设置有迷宫式凹槽，调温盘固定设置在调节轴上，调温盘的顶面与坩埚贴合，在所述下炉体外侧设置有驱动调节轴的驱动电机。