[实用新型]一种离子溅射仪样品平台

权利要求书

1.一种离子溅射仪样品平台，包括发条转置底座、转动轴、样品盘，其特征是：底座中带有发条装置，可以对其进行上弦储能，发条转置带动一垂直向上的转动轴，转动轴可以在发条装置的带动下自身进行旋转，样品盘连接在转动轴的上端，与转动轴的夹角可调节，范围为0°-90°，即样品盘可以进行一定的倾斜；随着发条转置带动转动轴转动，转动轴从而带动样品盘进行转动，由于样品盘与水平面有一倾斜夹角，放置在样品盘中样品呈现为螺旋式旋转，可以得到全方位、均匀性的喷镀效果。

2.如权利要求1所述的离子溅射仪样品平台，其特征在于：所述的发条转置底座、转动轴、样品盘的材质为不含铁元素、钴元素、镍元素的金属与高分子材料，为铝、铜、聚乙烯、聚丙烯、聚酰胺、聚苯硫醚、聚碳酸酯。