[实用新型]一种陶瓷生坯窑炉结构

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷生坯窑炉结构，属于烧结窑炉领域。本实用新型包括微波烧结炉、热压烧结炉以及物料物流线传动装置；所述微波烧结炉的左右两端均设置有升降密封门，所述微波烧结炉内部设有微波加热装置；所述热压烧结炉的左右两端均设置有升降密封门，所述热压烧结炉内部设有加热管加热装置，所述热压烧结炉炉壁上设有抽真空接口以及氮气进气管。本实用新型的窑炉结构包括微波烧结炉和热压烧结炉，高纯硅粉生坯先经微波烧结炉烧结处理，破坏生坯表面包覆层同时进行初步烧结；生坯进入热压烧结炉后，在加热加压的条件下，获得氮化程度高、烧结致密度高的烧结体。本实用新型可简化烧结程序、提高烧结效率，大大降低了能耗。

技术领域

本实用新型涉及烧结窑炉领域，特别涉及一种陶瓷生坯窑炉结构。

背景技术

现有的凝胶注凝成型工艺制备的高纯硅粉生坯坯体，仅包括加热管烧结，该工艺下高纯硅粉生坯颗粒表面氧化程度不一，直接氮化难度大，氮化程度低，消耗能源大，产品质量差，成本高。

目前尚未公开任何解决以上问题的方案，因此，为了提高产品质量，降低成本，提高经济效益，消除现有凝胶注凝成型工艺中高纯硅粉生坯颗粒表面氧化程度不一、氮化程度低、消耗能源大、产品质量差的缺陷，是亟待解决的问题。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决现有凝胶注凝成型工艺中高纯硅粉生坯颗粒表面氧化程度不一、氮化程度低、消耗能源大、产品质量差的问题，本实用新型提供了一种陶瓷生坯窑炉结构。

本实用新型的技术方案为：

一种陶瓷生坯窑炉结构，包括微波烧结炉、热压烧结炉以及物料物流线传动装置；所述微波烧结炉的左右两端均设置有升降密封门，所述微波烧结炉内部设有微波加热装置；所述热压烧结炉的左右两端均设置有升降密封门，所述热压烧结炉内部设有加热管加热装置，所述热压烧结炉炉壁上设有抽真空接口以及氮气进气管。

作为优选方案，所述微波加热装置中的微波发射源分别位于所述微波烧结炉的左侧、右侧和上部。

作为优选方案，所述微波加热装置连接冷却水循环系统。

作为优选方案，所述微波烧结炉与热压烧结炉之间的间距小于1米。

作为优选方案，所述加热管加热装置包括若干电加热管，各所述电加热管分别固定于热压烧结炉的侧部和顶部。

作为优选方案，所述氮气进气管至少设置两个；各所述氮气进气管位于所述热压烧结炉的下部。

作为优选方案，所述微波烧结炉和热压烧结炉内均设有用于测试生坯温度的测温装置。

本实用新型的窑炉结构是针对本申请人特有的凝胶注凝成型工艺制备的高纯硅粉生坯坯体。目的是通过对该生坯坯体的氮化烧结，得到氮化程度高、致密性高、气孔率低，且具有高比强、高比模、耐高温、抗氧化和耐磨损以及抗热震等优点的氮化硅陶瓷材料。

使用本实用新型对高纯硅粉生坯坯体烧结，首先进行微波烧结步骤，破坏生坯表面的氧化层，在极大简化坯体氮化难度的同时，生坯坯体自内而外均匀受热，有利于氮化的均匀进行，保证了生坯烧结体的均匀致密。

采用凝胶注凝成型工艺制备的高纯硅粉生坯坯体，原理为硅粉直接氮化，