[实用新型]一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置

权利要求书

1.一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：包括用于提供测试环境的多功能腔体、用于调节多功能腔体内温度及气氛的测试环境控制单元和用于监控测试的监测单元；所述测试环境控制单元和监测单元均与多功能腔体连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述多功能腔体包括腔体顶盖(101)、腔壳(102)、腔体内部载台(103)和腔体支架(104)，所述腔体顶盖(101)与腔壳(102)相连且用真空密封垫圈(111)密封，所述腔体顶盖(101)、腔壳(102)和腔体内部载台(103)围成一个空腔(105)，所述腔壳(102)设置于腔体支架(104)上，所述腔体支架(104)底部设置有减震基座(106)。

3.根据权利要求2所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述腔壳(102)侧边设置有进气口(107)、出气口(108)、真空抽气口(109)和测试线密封口(110)，所述腔体顶盖(101)和腔体内部载台(103)上均留有开口。

4.根据权利要求3所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述测试环境控制单元包括温控装置和气氛环境控制装置，所述温控装置设置于腔体内部载台(103)的开口处；所述气氛环境控制装置设置于多功能腔体外并通过所述进气口(107)、出气口(108)和真空抽气口(109)与多功能腔体的空腔(105)相通。

5.根据权利要求4所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述温控装置包括加热装置、制冷装置、温度传感器(201)和温度控制器；所述温度控制器设置于多功能腔体外并通过测试线与加热装置、制冷装置、温度传感器(201)连接；所述加热装置包括加热器(202)和包裹加热器(202)的金属蓄冷蓄热块(203)，所述制冷装置包括制冷结构和与制冷结构连接的散热结构，所述温度传感器(201)设置于金属蓄冷蓄热块(203)上表面。

6.根据权利要求5所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述金属蓄冷蓄热块(203)侧面与腔体内部载台(103)之间设置有绝缘隔热层(204)，所述金属蓄冷蓄热块(203)上面设置有测试平台(301)，所述测试平台(301)与金属蓄冷蓄热块(203)紧密接触，测试平台(301)上设置有一沉孔，温度传感器(201)嵌入到沉孔内。

7.根据权利要求5所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述制冷结构包括半导体热电制冷片(205)，所述半导体热电制冷片(205)与金属蓄冷蓄热块(203)接触，所述散热结构包括紧贴半导体热电制冷片(205)热端的散热片(206)和散热片(206)外侧的散热风扇(207)。

8.根据权利要求7所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述半导体热电制冷片(205)与腔壳(102)之间设置有用于防止热量流失的保温隔热层(208)。

9.根据权利要求4所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述气氛环境控制装置包括气瓶和真空泵；所述气瓶与进气口(107)相通，所述真空泵与真空抽气口(109)相通。

10.根据权利要求3所述的一种具有高低温及气氛环境控制的多功能测试装置，其特征在于：所述监测单元包括电学性能测试装置和光学监控装置，所述电学性能测试装置包括设置于多功能腔体外的电学测试系统和设置于多功能腔体内的探针座(302)、探针(303)，所述探针(303)设置在探针座(302)上，探针座(302)设置在腔体内部载台(103)上，探针(303)通过测试线与电学测试系统连接，所述测试线穿过测试线密封口(110)；所述光学监控装置包括设置于腔体顶盖(101)开口处的石英光学视窗(401)和设置于多功能腔体外的用于监控多功能腔体内的测试样品(5)的光学显微镜，光学显微镜位于石英光学视窗(401)上方。