[实用新型]一种薄膜透光均匀性检测装置

权利要求书

1.一种薄膜透光均匀性检测装置，其特征在于包括：激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；所述工作台上设有样品台和圆孔，所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上，所述圆孔的半径大于所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径；所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧，使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过；所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接，所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接，用于接收所述数字锁相放大器的检测信号及控制带有样品的所述样品台移动，进行下一区域检测。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述圆孔始终处于所述样品台移动范围内。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数字锁相放大器包括基于FPGA的数字锁相放大器，其内部设有乘法器、低通滤波器、移相电路及DDS信号产生器，用于产生初始信号及对待测信号完成检测。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工作台水平放置，包括带圆孔的显微镜XY轴移动平台。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述圆孔半径为4-8cm，所述激光光源在所述样品平台处的光斑半径为1.5-3cm。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光光源包括带有调制信号的半导体激光器。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光电探测器用于接收透过薄膜的带一定频率信号的激光光强并将其转换成电信号。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述激光光强频率为500Hz-20kHz。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述信号调理单元包括仪用运放和滤波器，对所述电信号进行放大和滤波。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制单元包括单片机显示控制电路。