[实用新型]高效能尾气处理设备

说明书

一种高效能尾气处理设备，适用于以甲烷处理一氧化二氮废气，并包含废气输气管、甲烷输入管，以及加热部。所述废气输气管用于输送所述一氧化二氮废气。所述甲烷输入管用于提供甲烷。所述加热部包括反应炉、贯穿所述反应炉底壁的预热管，及数根设于所述反应炉内且彼此角度相间隔地围绕所述预热管的垂直加热棒。所述废气输气管内的一氧化二氮废气与所述甲烷输入管内的甲烷混合后流入所述预热管预热，继而进入所述反应炉内被所述加热棒加热，以在预定温度下进行加热分解反应。

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理设备，特别是涉及一种高效能尾气处理设备。

背景技术

一氧化二氮(N₂O)广泛应用于半导体工业制程上，其浓度可高达99.999％。然而，一氧化二氮与二氧化碳(CO₂)同样都是温室气体，且一氧化二氮所能造成的温度效应效果大约是二氧化碳的296倍。因此，基于环境保护及地球永续发展的理念，有必要设法降低工业制造过程中所排放的一氧化二氮浓度。

参阅图1现有废气处理设备1，其包括一与前端制造设备(图未示)连通的入口洗涤单元11、一与该入口洗涤单元11连通的反应单元12、一与该反应单元12连通的出口洗涤单元13，及一用于盛接洗涤废水的水槽14。

该入口洗涤单元11引入外界水源，利用直接喷洒水的方式，使废气与水进行初步反应，以除去废气中的可溶于水或能与水反应的成分。接着，洗涤后产生的废水被引导至该水槽14中。

该反应单元12用于对废气进行加热分解反应，使废气中受热产生结晶的成分得以析出。而部分成分析出后产生的结晶盐可直接以物理方式刮除，并另外进行针对性的处理。

该出口洗涤单元13同样引入外界水源对经过加热分解反应后的废气再一次洗涤，以再一次去除废气中可溶于水或能与水反应的成分。洗涤废气后的废水同样被引导至该水槽14，并经过特定处理后方可排放。至于以该出口洗涤单元13洗涤后的废气则是借助风扇15提供的动力而排出至外界。

然而，随着环保意识抬头，废气的可排放标准也日渐提高，因而单纯对一氧化二氮废气进行洗涤及加热分解反应，已逐渐无法符合排放标准。因此，如图2中国台湾第M528512号新型专利案所示，其公开一种以甲烷处理一氧化二氮废气的气体处理装置9100，包含一管路单元91、一反应腔座92，及一加热单元93。该管路单元91包括一甲烷输送管911、一空气输送管912、一能供一氧化二氮通入的制程气体输送管913，及一端部9141连接该甲烷输送管911、该空气输送管912与该制程气体输送管913的汇流管914。该汇流管914界定出一预混合流道9140。该反应腔座92连接该汇流管914的另一端部9142，并包括一界定出一反应空间9210的腔壁921、一贯穿该腔壁921且与该预混合流道9140相连通的进气口922，及一贯穿该腔壁921的排气口923。该加热单元93邻近该反应腔座92并能用于加热该反应空间9210，使该反应空间9210温度不低于摄氏600度。然而，上述中国台湾第M528512号新型专利案所示的气体处理装置9100的反应效率不高，因而无法有效降低一氧化二氮排放浓度。因此，有必要寻求解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效能尾气处理设备。

本实用新型高效能尾气处理设备，适用于以甲烷处理一氧化二氮废气，并包含用于输送一氧化二氮废气的废气输气管、用于提供甲烷的甲烷输入管，以及加热部，所述加热部包括反应炉、贯穿所述反应炉底壁的预热管，及数根设于所述反应炉内且彼此角度相间隔地围绕所述预热管的垂直加热棒，所述废气输气管内的一氧化二氮废气与所述甲烷输入管内的甲烷混合后流入所述预热管预热，继而进入所述反应炉内被所述加热棒加热，以在预定温度下进行加热分解反应。

本实用新型高效能尾气处理设备，所述预定温度大于850℃～950℃。

本实用新型高效能尾气处理设备，所述加热棒的数量为六根。