[实用新型]衰减装置及光刻机有效
| 申请号： | 201721440266.3 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207408740U | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 陈梦来 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 棘齿 衰减装置 衰减 传动棘齿 能量衰减 棘轮 旋转驱动单元 驱动单元 防退 本实用新型 光刻机 同轴固定连接 静态稳定性 驱动 挡位切换 机械结构 棘轮棘齿 驱动能量 旋转电机 可摆动 挡位 档位 抵接 自锁 断电 叶片 转动 盘旋 保证 | ||
1.一种衰减装置，其特征在于，包括：能量衰减盘和旋转驱动单元，所述旋转驱动单元驱动能量衰减盘旋转以改变能量衰减盘上的衰减档位，所述旋转驱动单元包括棘轮、传动棘齿、棘齿驱动单元和防退棘齿，所述棘轮与所述能量衰减盘同轴固定连接，所述棘齿驱动单元驱动所述传动棘齿转动，所述传动棘齿和防退棘齿均可摆动地抵接在棘轮的外侧。
2.如权利要求1所述的衰减装置，其特征在于，所述棘齿驱动单元包括气缸和传动组件，所述气缸的输出端连接所述传动组件，所述传动棘齿可摆动地设置在传动组件上。
3.如权利要求2所述的衰减装置，其特征在于，所述传动组件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆两端分别铰接所述气缸的输出端和所述第二连杆，所述第二连杆还铰接所述能量衰减盘的旋转中心，所述传动棘齿铰接在所述第二连杆上。
4.如权利要求1所述的衰减装置，其特征在于，所述衰减装置还包括安装座，所述能量衰减盘和旋转驱动单元分别固定在所述安装座上。
5.如权利要求1或3所述的衰减装置，其特征在于，所述衰减装置还包括第一压片，所述第一压片可摆动地压设在所述传动棘齿上。
6.如权利要求1或3所述的衰减装置，其特征在于，所述衰减装置还包括第二压片，所述第二压片可摆动地压设在所述防退棘齿上。
7.如权利要求1所述的衰减装置，其特征在于，所述衰减装置还包括弹簧支柱，所述弹簧支柱的可伸缩端抵接所述棘轮外侧。
8.如权利要求7所述的衰减装置，其特征在于，所述衰减装置还包括安装座，所述棘轮通过所述安装座与所述能量衰减盘同轴固定连接，所述弹簧支柱可伸缩地设置在所述安装座上。
9.如权利要求1所述的衰减装置，其特征在于，所述棘轮的齿数为8个或12个。
10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的衰减装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721440266.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油墨固化用紫外LED光源系统
- 下一篇：自调节光罩及光罩弯曲校正系统
