[实用新型]一种分段式单晶硅加料器有效
| 申请号： | 201721443632.0 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN207391597U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 陈钦强 | 申请（专利权）人： | 青海日晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 孙法胜 |
| 地址： | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 段式 单晶硅 料器 | ||
【权利要求书】：
1.一种分段式单晶硅加料器，包括外筒和内筒，内筒设置在外筒内，其特征在于：所述内筒包括设置在外筒底部的内底筒和设置在内底筒上的内套筒。
2.根据权利要求1所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒和内套筒外径相同，内底筒厚度大于内套筒厚度。
3.根据权利要求2所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内套筒下端面与内底筒上端面贴合。
4.根据权利要求1所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度小于内套筒高度。
5.根据权利要求4所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度为内筒高度的1/7-1/5。
6.根据权利要求4所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒高度为内筒高度的1/7。
7.根据权利要求5或6所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒和内套筒为石英筒。
8.根据权利要求5或6所述的分段式单晶硅加料器，其特征在于：所述内底筒为钼筒，内套筒为石英筒。
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