[实用新型]干式微小颗粒分离装置

权利要求书

1.一种干式微小颗粒分离装置，其特征是，包括真空室，在所述真空室内水平设置有上极板和下极板，所述上极板接地线，所述下极板连接射频电源的功率电极，射频电源的另一电极接地线；在所述下极板上设置有颗粒分离器，在所述颗粒分离器的上方设置有用于盛放待分离颗粒的颗粒池，所述颗粒池连接穿出所述真空室的振动杆；

所述颗粒分离器包括位于中间呈前后并行排列的两个竖向的棘齿板以及位于所述棘齿板左右两端的缺口相对的两个弧形曲面板；左端弧形曲面板的缺口端的两个竖向侧沿分别与两个棘齿板的左端侧对应相接，右端弧形曲面板的缺口端的两个竖向侧沿分别与两个棘齿板的右端侧对应相接；在两个棘齿板相对的板面上设有倾斜方向均朝向左端或均朝向右端的若干一一对应的棘齿，且两个棘齿板上棘齿的齿长和齿深对应相同。

2.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，两个所述弧形曲面板的弧度均不小于270°。

3.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，两个棘齿板相距1-2cm。

4.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，两个棘齿板上棘齿的齿深与齿长的比例为1:2。

5.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，待分离颗粒是两种不同尺寸的微米量级的颗粒。

6.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，所述真空室由不锈钢腔体围成，且不锈钢腔体接地线。

7.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，所述颗粒池由不同目数的多层金属网压制而成；所述振动杆呈竖直设置，所述颗粒池通过水平设置的绝缘杆与所述振动杆相接。

8.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，所述颗粒分离器由绝缘材料制成。

9.根据权利要求1所述的干式微小颗粒分离装置，其特征是，在所述真空室的腔体上开有进气口和出气口；通过所述进气口可向所述真空室内充入空气或氩气，在所述进气口处安装有流量计，通过调节所述流量计可以控制所述真空室内的气压。