[实用新型]表面电荷测量探头运动装置

权利要求书

1.一种表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，包括：

探测机构，所述探测机构包括第一驱动件和探头夹具，所述探头夹具一端与所述第一驱动件的输出端相连，所述探头夹具另一端用于夹持静电探头；

第一运动机构，所述第一运动机构与所述第一驱动件传动连接，所述第一运动机构用于使所述第一驱动件在第一方向上运动；及

第二运动机构，所述第二运动机构与所述第一运动机构传动连接，所述第二运动机构用于使所述第一运动机构在第二方向上运动。

2.根据权利要求1所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，所述第一运动机构包括第二驱动件、安装体及伸缩机构，所述第二驱动件与所述伸缩机构均设置于所述安装体上，所述第二驱动件用于驱动所述伸缩机构在所述第一方向上进行伸缩。

3.根据权利要求2所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，所述伸缩机构包括第一丝杆、滑杆及用于套接所述滑杆的套筒，所述滑杆一端与所述探测机构连接，所述滑杆另一端底部设有连接孔，所述第一丝杆套设于所述连接孔内，所述连接孔内壁设有第一螺纹，所述第一丝杆侧面设有与所述第一螺纹相配合的第二螺纹；所述滑杆侧面设有导条，所述导条沿所述滑杆轴向方向设置，所述套筒内壁设有与所述导条相匹配的导槽。

4.根据权利要求3所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，所述第一丝杆上远离所述滑杆的一端连接轴承与第一齿轮，所述第一丝杆通过所述轴承与所述安装体相连，所述第二驱动件的输出端连接有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮相互啮合。

5.根据权利要求1所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，还包括底座，所述第二运动机构包括第三驱动件、滑动机构及连接体，所述第三驱动件与所述滑动机构均设置于所述底座上，所述第三驱动件用于驱动所述滑动机构在所述第二方向上运动；所述连接体设置于所述滑动机构上，且所述连接体与所述第一运动机构连接。

6.根据权利要求5所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，所述滑动机构包括第二丝杆、滑板、挡板及滑块，所述连接体设置于所述滑块上，所述滑板上设有与所述滑块相匹配的滑槽，所述滑板一端与所述挡板相连；所述滑块上设有第一通孔，所述第二丝杆套设于所述第一通孔内，所述第一通孔内壁设有第三螺纹，所述第二丝杆侧面设有与所述第三螺纹相对应的第四螺纹；所述第三驱动件输出端与所述第二丝杆相连接，所述第三驱动件用于驱使所述第二丝杆转动。

7.根据权利要求6所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，所述滑动机构包括多个所述滑块，所述滑块之间通过连接板连接，所述连接板与所述第一运动机构之间连接设置支撑架。

8.根据权利要求1-7任一所述的表面电荷测量探头运动装置，其特征在于，还包括第一感应开关组件、第二感应开关组件及第三感应开关组件；

所述第一感应开关组件装设于所述探测机构，所述第一感应组件包括第一感应片与第一感应开关，所述第一感应片与所述第一感应开关配合时用于标记所述静电探头的第一位置；

所述第二感应开关组件装设于所述第一运动机构，所述第二感应组件包括第二感应片与第二感应开关，所述第二感应片与所述第二感应开关配合时用于标记所述静电探头的第二位置；

所述第三感应开关组件装设于所述第二运动机构，所述第三感应组件包括第三感应片与第三感应开关，所述第三感应片与所述第三感应开关配合时用于标记所述静电探头的第三位置。