[实用新型]一种碳化硅晶体抛光盘

权利要求书

1.一种碳化硅晶体抛光盘，包括冷却外圈结构(1)、冷却内圈结构(3)、衬底层(7)和支撑架(10)，其特征在于：所述冷却外圈结构(1)内部设置有冷却内圈结构(3)，且冷却内圈结构(3)下方连通有内圈冷却水进口(2)，所述冷却外圈结构(1)外侧通过支撑块(9)固定有第一环形外圈冷却水道(4)，且第一环形外圈冷却水道(4)下方连接有外圈冷却水进口(8)，所述第一环形外圈冷却水道(4)内部设置有第二环形外圈冷却水道(6)，且第二环形外圈冷却水道(6)与第一环形外圈冷却水道(4)通过连接孔(11)相连通在一起，所述第一环形外圈冷却水道(4)和第二环形外圈冷却水道(6)设置连接有直线冷却水道(5)，且连接孔(11)开设在直线冷却水道(5)上，所述支撑块(9)下方固定在衬底层(7)上，且衬底层(7)上安装有内圈冷却水进口(2)和外圈冷却水进口(8)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体抛光盘，其特征在于：所述冷却外圈结构(1)由支撑块(9)上固定的第一环形外圈冷却水道(4)以及支撑架(10)上固定的第二环形外圈冷却水道(6)共同构成，且第一环形外圈冷却水道(4)和第二环形外圈冷却水道(6)的管道直径大小不相同，并且冷却外圈结构(1)上设置的第二环形外圈冷却水道(6)为不同的层数的水道设计。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体抛光盘，其特征在于：所述冷却外圈结构(1)上与第一环形外圈冷却水道(4)相连通的外圈冷却水进口(8)以及与冷却内圈结构(3)相连通的内圈冷却水进口(2)均设置有两根。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体抛光盘，其特征在于：所述第一环形外圈冷却水道(4)和第二环形外圈冷却水道(6)上垂直设置的直线冷却水道(5)在冷却外圈结构(1)上设置有四组，且第一环形外圈冷却水道(4)和第二环形外圈冷却水道(6)通过直线冷却水道(5)内部的连接孔(11)相互连通。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体抛光盘，其特征在于：所述衬底层(7)为单晶碳化硅、蓝宝石、氮化镓与单晶硅等材质构成。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体抛光盘，其特征在于：所述支撑块(9)的外环结构与下方设置的衬底层(7)的外环结构大小相同，并且支撑块(9)上固定的第一环形外圈冷却水道(4)和支撑架(10)固定的第二环形外圈冷却水道(6)以及支撑架(10)上固定的冷却内圈结构(3)的上表面位于同一水平面。