[实用新型]用于承载测试钢板的装置及胶带剥离强度测定装置

说明书

本实用新型涉及UV失粘胶带技术领域，尤其是涉及一种用于承载测试钢板的装置及胶带剥离强度测定装置。用于承载测试钢板的装置，包括承载底板，承载底板呈圆形，承载底板设置有多个放置孔，多个放置孔沿承载底板的径向间隔设置，放置孔用于放置测试钢板，其中，测试钢板的上表面与承载底板的上表面平行，测试钢板的下表面用于与UV失粘胶带相贴合，承载底板用于放置在晶圆紫外线照射机的载物台上，以使紫外线照射在UV失粘胶带上。胶带剥离强度测定装置，包括晶圆紫外线照射机和所述的用于承载测试钢板的装置，用于承载测试钢板的装置位于晶圆紫外线照射机的载物台上。本实用新型能够利用晶圆紫外线照射机对胶带进行剥离强度测试。

技术领域

本实用新型涉及UV失粘胶带技术领域，尤其是涉及一种用于承载测试钢板的装置及胶带剥离强度测定装置。

背景技术

普通的晶圆紫外线照射机是专门为照射晶圆而设计的，该照射机的紫外灯位于载物台的下方，载物台中间设置有圆孔，载物台上适合装载用于放置晶圆的圆环。在使用时，将晶圆通过UV失粘胶带固定安装在圆环上，对晶圆进行切割等加工过程，加工结束后，利用紫外灯照射UV失粘胶带，UV失粘胶带的粘度瞬间降低，从而将晶圆取下来。

然而，在对胶带进行剥离强度测试时，按照GB/T 2792-2014《胶粘带剥离强度的试验方法》的规定，需要采用标准的测试钢板，而上述载物台无法承载测试钢板，因此，无法利用晶圆紫外线照射机进行剥离强度测试。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于承载测试钢板的装置，以解决现有的晶圆紫外线照射机无法对胶带进行剥离强度测试的技术问题。

本实用新型的目的还在于提供一种胶带剥离强度测定装置，以解决现有的晶圆紫外线照射机无法对胶带进行剥离强度测试的技术问题。

基于上述第一目的，本实用新型提供了一种用于承载测试钢板的装置，包括承载底板，所述承载底板呈圆形，所述承载底板设置有多个放置孔，多个所述放置孔沿所述承载底板的径向间隔设置，所述放置孔用于放置测试钢板，其中，所述测试钢板的上表面与所述承载底板的上表面平行，所述测试钢板的下表面用于与UV失粘胶带相贴合，所述承载底板用于放置在晶圆紫外线照射机的载物台上，以使紫外线照射在所述UV失粘胶带上。

进一步地，所述放置孔为台阶孔，所述测试钢板的下表面与所述台阶孔的台阶面相贴合。

进一步地，所述放置孔为通孔；

还包括托板，所述托板呈圆形，所述托板位于所述承载底板的下方，且所述托板与所述承载底板固定连接，所述托板设置有多个透光孔，所述透光孔的数量与所述通孔的数量相等，所述透光孔的尺寸小于所述通孔的尺寸，且所述透光孔的位置与所述通孔的位置相对，以使所述晶圆紫外线照射机能够照射所述测试钢板的下表面。

进一步地，所述透光孔的形状为矩形，所述透光孔的长度与所述测试钢板的长度相同，所述透光孔的宽度小于所述测试钢板的宽度。

进一步地，所述承载底板与所述托板通过螺栓和螺母连接，所述承载底板与所述托板均设置有安装孔，所述螺栓穿设于所述安装孔中，所述螺母与所述螺栓螺纹连接。

进一步地，所述承载底板设置有多个凹槽，所述凹槽的槽口与所述放置孔连通。

进一步地，所述凹槽的横截面的形状为半圆形。

进一步地，所述放置孔的形状为矩形，所述放置孔的尺寸与所述测试钢板的尺寸相同。

进一步地，所述放置孔的形状为矩形，所述放置孔的尺寸与所述测试钢板的尺寸相同。

进一步地，所述放置孔的数量为四个。

基于上述第二目的，本实用新型还提供了一种胶带剥离强度测定装置，包括晶圆紫外线照射机和所述的用于承载测试钢板的装置，所述用于承载测试钢板的装置位于所述晶圆紫外线照射机的载物台上。