[实用新型]氯硅烷净化回收设备

权利要求书

1.一种氯硅烷净化回收设备，其特征在于，包括：

动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；

所述过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及

残液处理单元，设置在所述过滤单元的下游，用于处理残液。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述动力单元包括氮气缓冲罐及配套的程控阀。

3.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述精密过滤器设置有：

物料入口，位于所述精密过滤器的滤芯末端位置以下；

过滤器花盘，位于所述精密过滤器的滤芯顶部；

过滤液出口以及氮气反冲洗口，设置在所述过滤器花盘位置以上；

排液口，设置在所述精密过滤器的底部正下方；以及

氯硅烷循环管线，位于所述精密过滤器的滤芯末端位置以下。

4.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述精密过滤器内设置有压差计。

5.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述精密过滤器包括：精密过滤器壳体和设置在所述精密过滤器壳体内部的花盘和滤芯，所述滤芯安装在所述花盘上。

6.根据权利要求5所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述滤芯为多根，所述滤芯为金属滤芯、陶瓷滤芯或聚四氟乙烯滤芯。

7.根据权利要求1所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，残液处理单元为一台或多台残液过滤器。

8.根据权利要求7所述的氯硅烷净化回收设备，其特征在于，所述残液过滤器包括残液过滤器壳体和设置在所述残液过滤器壳体内部的滤布、滤布安装骨架和夹套，所述残液过滤器设置有物料入口，顶部设置有过滤液出口，底部设置有排渣口、氮气压料口、尾气管口和夹套热原进出口。