[实用新型]显影机升降缓存机构

说明书

本实用新型是一种显影机升降缓存机构，其结构包括升降缓存机构、丝杆、导轨、滑块、丝杆螺母座、固定架、电机和传送带；其中传送带二侧的地面通过螺栓固定固定架，固定架通过螺栓固定丝杆与导轨，电机与丝杆通过联轴器固定，丝杆螺母座与滑块通过螺栓分别固定于升降缓存机构二侧，本实用新型的优点:可在下游设备发生故障时将显影机内的基板转移到升降缓存机构上来，避免基板无法从显影腔及时排出，显影液长时间停留在基板表面导致过显。

技术领域

本实用新型是一种显影机升降缓存机构，属于显影机技术领域。

背景技术

显影机下游设备报警会导致显影机内的基板不能及时排出，尤其显影腔内的基板无法及时排出，显影液长时间停留在基板表面，从而造成基板过显NG，生产出不合格的产品。这种非因本身机台故障造成的产品NG目前尚不可避免。基板在显影机内正常流片，当下游设备报警时机台内的基板无法及时排出，尤其显影腔内的基板无法及时排出，显影液长时间停留在基板表面，从而造成基板过显NG，且非因显影机本身故障所致。当下游设备报警时机台内的基板无法及时排出，显影液长时间停留在基板表面，从而造成基板过显。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种显影机升降缓存机构，其目的是克服现有技术存在的上述缺陷，当下游设备报警时机台内的基板可及时排出，尤其显影腔内的基板及时排出，当下游设备报警时机台内的基板可及时排出，避免显影液长时间停留在基板表面，从而造成基板过显的问题。

本实用新型的技术解决方案：显影机升降缓存机构，其结构包括升降缓存机构1、丝杆2、导轨3、滑块4、丝杆螺母座5、固定架6电机7和传送带8；其中传送带8二侧的地面通过螺栓固定固定架6，固定架6通过螺栓固定丝杆2与导轨3，电机7与丝杆2通过联轴器固定，丝杆螺母座5与滑块4通过螺栓分别固定于升降缓存机构1二侧，

本实用新型的优点:可在下游设备发生故障时将显影机内的基板转移到升降缓存机构上来，避免基板无法从显影腔及时排出，显影液长时间停留在基板表面导致过显。

附图说明

附图1是显影机升降缓存机构的结构示意图.

图中的1是升降缓存机构、2是丝杆、3是导轨、4是滑块、5是丝杆螺母座、6是固定架、7是电机、8是传送带。

具体实施方式

对照附图，显影机升降缓存机构，其结构包括升降缓存机构1、丝杆2、导轨3、滑块4、丝杆螺母座5、固定架6和电机7；其中

传送带8二侧的地面通过螺栓固定固定架6，固定架6通过螺栓固定丝杆2与导轨3，电机7与丝杆2通过联轴器固定，丝杆螺母座5与滑块4通过螺栓分别固定于升降缓存机构1二侧；传送带8的出口处适应升降缓存机构1用以承接基板的横梁。

工作过程：基板正常流片，当下游设备报警时，传送带出口片的基板无法正常排出，此时电机7带动丝杆2旋转，从而带动丝杆螺母座5.向上移动，另一侧的导轨3与滑块4同步动作，共同带动升降缓存机构1上升，从而将基板转移到升降缓存机构1上，重复此动作直至显影机内的基板全部转移到升降缓存机构1上，从而避免基板无法及时排出，显影液长时间停留在基板表面导致过显。当下游设备报警消除正常流片时，电机7带动丝杆2反向旋转，从而带动升降缓存机构1下降，将基板转移到传送带上，下游设备将基板取走后升降缓存机构1重复下降过程，直至将机构内的基板排空，后续显影机正常工作。为保证升降缓存机构1的良好固定，与之连接的滑块可设2－3组。

本实用新型在于当显影机本身无故障其下游设备故障时，显影机内的基板仍然可以继续流出到发明的升降缓存机构上，避免基板无法及时排出，显影液长时间停留在基板表面导致过显。与现有技术相比，本实用新型在于当下游设备报警时显影机内的基板可继续转移到升降缓存机构上来，避免显影液长时间停留在基板表面造成过显。