[实用新型]碱性气体排气管回流装置

说明书

本实用新型是一种碱性气体排气管回流装置，包括返洗设备制程腔体（1）、碱排气口（2）、排气冷凝碱液管（3）、分流直排管（3A）、分流回收Tank管（3B）、环绕型碱排气主体管（4B）、碱液储存Tank（5）、最终碱气排（6），所述分流直排管（3A）和分流回收Tank管（3B）上分别设有开关。优点：1.避免大量碱性气体直接排出，避免碱液超消耗浪费，也不会出现动力端碱排管路积液。2.返洗设备碱排气管中冷凝碱液能够进行回收再利用，减少药液成本。

技术领域

本实用新型涉及一种碱性气体排气管回流装置，属于玻璃返洗技术领域。

背景技术

目前玻璃返洗设备（Strip）生产时，玻璃基板上的光阻在碱性药液高温制程时，会产生大量碱性气体，因现返洗设备采用常见方式的防腐排气机构，会有大量碱性气体从排气管道直接排出至动力排气收回管道中，导致返洗设备碱液消耗过大；直接排出的大量碱性气体易在动力端排气回收管道中冷凝积液。从而增大了动力排气管中的积液风险和设备碱液的消耗的成本。

现有技术的缺点是常见方式的排气管路，在生产时虽然能及时大量排出腔体内的碱性气体，避免碱性气体泄漏。但是大量排气在排气管道直接排出浪费严重、并易在动力端排气管积液。本发明的目的就是为了使返洗设备碱排气管中冷凝碱液能够进行回收利用，并减少动力端的排气管道的积液风险。

发明内容

本实用新型提出的是一种碱性气体排气管回流装置，旨在解决碱性气体浪费和动力排气管道积液等异常现象等缺点。

本实用新型的技术方案：一种碱性气体排气管回流装置，其结构包括返洗设备制程腔体（1）、碱排气口（2）、排气冷凝碱液管（3）、分流直排管（3A）、分流回收Tank管（3B）、环绕型碱排气主体管（4B）、碱液储存Tank（5）、最终碱气排（6）；其中，返洗设备制程腔体（1）上设置有碱排气口（2），排气冷凝碱液管（3）入气口通过碱排气口（2）与返洗设备制程腔体（1）连接，环绕型碱排气主体管（4B）入气口与排气冷凝碱液管（3）A出气口连接，最终碱气排（6）的入气口与环绕型碱排气主体管（4B）出气口连接，排气冷凝碱液管（3）B出气口分别与分流直排管（3A）的入气口、分流回收Tank管（3B）的入气口连接，分流回收Tank管（3B）的出气口与碱液储存Tank（5）连接，碱液储存Tank（5）与返洗设备制程腔体（1）连接；所述分流直排管（3A）和分流回收Tank管（3B）上都设有开关。

本实用新型的优点：

1.避免大量碱性气体直接排出，避免碱液超消耗浪费，也不会出现动力端碱排管路积液。

2. 返洗设备碱排气管中冷凝碱液能够进行回收再利用，减少药液成本。

附图说明

附图1是碱性气体排气管回流装置结构示意图。

图中，1是返洗设备制程腔体，2是碱排气口，3是排气冷凝碱液管，3A是分流直排管，3B是分流回收Tank管， 4B是环绕型碱排气主体管，5是碱液储存Tank，6是最终碱气排。

具体实施方式

碱性气体排气管回流装置，包括返洗设备制程腔体（1）、碱排气口（2）、排气冷凝碱液管（3）、分流直排管（3A）、分流回收Tank管（3B）、环绕型碱排气主体管（4B）、碱液储存Tank（5）、最终碱气排（6）；其中，返洗设备制程腔体（1）上设置有碱排气口（2），排气冷凝碱液管（3）入气口通过碱排气口（2）与返洗设备制程腔体（1）连接，环绕型碱排气主体管（4B）入气口与排气冷凝碱液管（3）A出气口连接，最终碱气排（6）的入气口与环绕型碱排气主体管（4B）出气口连接，排气冷凝碱液管（3）B出气口分别与分流直排管（3A）的入气口、分流回收Tank管（3B）的入气口连接，分流回收Tank管（3B）的出气口与碱液储存Tank（5）连接，碱液储存Tank（5）与返洗设备制程腔体（1）连接；所述分流直排管（3A）和分流回收Tank管（3B）上都设有开关。