[实用新型]一种压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于：包括衬底，所述衬底上设置有四个内腔，还包括设置在衬底上的敏感膜，所述敏感膜覆盖所述四个内腔；在所述敏感膜上对应每个内腔的位置分别设置有一组压敏电阻，每组压敏电阻包括至少两个串联在一起的压敏电阻；所述敏感膜上对应四个内腔区域的四组压敏电阻各作为惠斯通电桥的一个臂，共同构成了信号输出的惠斯通电桥。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述每个压敏电阻的基本阻值是相同的。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述衬底上的敏感膜是一张整体膜。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述敏感膜的数量与内腔的数量相对应，每张敏感膜对应一个内腔。

5.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：每组压敏电阻中的多个串联在一起的压敏电阻均匀分布在对应内腔的上方。

6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于：每组压敏电阻设置有四个串联在一起的压敏电阻，该四个压敏电阻围成矩形或者圆形。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：每个压敏电阻包括重掺杂区和轻掺杂区；所述每个压敏电阻的重掺杂区通过导电部引出。

8.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：所述内腔设置有N个，N为4的整数倍，且不等于4；其中，每N/4个内腔上方对应的压敏电阻串联在一起共同作为惠斯通电桥的一个臂，四个臂共同构成了信号输出的惠斯通电桥。