[实用新型]一种集成型高温束源炉有效
| 申请号： | 201721470360.3 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207537526U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 宋群梁;蒋汉辉;韩艳 | 申请（专利权）人： | 成都航睿科精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙) 51101 | 代理人： | 石荣华 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热筒 加热坩埚 连接法兰 出水管 进水管 屏蔽盖 导热 本实用新型 加热电阻丝 电阻丝组 加热电极 集成型 束源炉 水冷腔 底端 便于安装 高度集成 热电阻丝 同轴设置 连接盖 筒壁 连通 穿过 外部 | ||
【权利要求书】：
1.一种集成型高温束源炉，包括加热坩埚以及位于加热坩埚下方的连接法兰，其特征在于：所述加热坩埚外部套有加热筒，且加热坩埚与加热筒之间设有导热电阻丝组，所述加热筒的筒壁内设有水冷腔，加热筒的顶端和底端均设置有屏蔽盖，加热筒底端的屏蔽盖上分别设有连通水冷腔的进水管和出水管，进水管与出水管的底端安装在连接法兰上，连接法兰上还设有多个加热电极，加热电极上连接有加热电阻丝，加热电阻丝的一端穿过加热筒底端的屏蔽盖并与导热电阻丝组连接。
2.根据权利要求1所述的集成型高温束源炉，其特征在于：所述加热筒底端的屏蔽盖与连接法兰之间设置有连接盖，连接盖通过支撑杆固定在连接法兰上方，所述进水管、出水管以及加热电阻丝均穿过连接盖。
3.根据权利要求1所述的集成型高温束源炉，其特征在于：所述加热电阻丝上设有保护套，且其中一根或两根加热电阻丝上连接有温度感应接头。
4.根据权利要求1所述的集成型高温束源炉，其特征在于：所述连接法兰的下方还设置有磁力传动装置，磁力传动装置上设置有转轴，转轴依次穿过连接法兰、连接盖、加热筒底端的屏蔽盖后与加热筒顶端的屏蔽盖连接。
5.根据权利要求1所述的集成型高温束源炉，其特征在于：所述加热坩埚与加热筒之间还固定有导热片，所述导热电阻丝组均匀安装在导热片上。
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