[实用新型]一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置有效
| 申请号： | 201721471967.3 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207862479U | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏;杨林;周海富;黄建忠;刘恒泽;丁彪;张超 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 钟欢 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液口 单晶炉 拉晶 精准定位装置 本实用新型 标记物 单晶硅籽晶 导流筒下沿 测量数据 液面保持 预先设置 参照物 口距 内液 熔硅 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，其特征在于，包括安装于导流筒(5)下沿的标记物，所述标记物与熔硅(4)的液面保持设定的距离，所述导流筒(5)下沿设置有用于固定定位安装工装(1)的安装孔，所述安装孔与所述熔硅(4)的液面呈12°设置，所述定位安装工装(1)的侧面具有与所述安装孔形状相适应的凸柱，所述定位安装工装(1)通过凸柱卡设于所述安装孔，所述标记物设置于定位安装工装(1)内、并通过石墨螺栓进行固定；
还包括CCD测量系统，所述CCD测量系统监控拉晶过程中液口距的变化。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉用自动拉晶液口距精准定位装置，其特征在于，所述标记物为定位硅单晶籽晶(2)。
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