[实用新型]坩埚有效
申请号: | 201721475927.6 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN207552431U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 袁建南;罗武峰;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 叶剑 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阻挡盘 坩埚本体 容置腔 通孔 灰化 蒸发材料 错开 蒸镀 坩埚 开口 本实用新型 圆柱体结构 良率 粘附 连通 平行 阻挡 | ||
本实用新型涉及一种坩埚,包括:坩埚本体和若干阻挡盘;所述坩埚本体具有圆柱体结构,内部开设有容置腔,且所述坩埚本体开设有一开口,所述开口与所述容置腔连通;各所述阻挡盘均设置于所述容置腔内,且各所述阻挡盘分别平行于所述坩埚本体的径向;各所述阻挡盘分别开设有若干通孔,相邻的两个所述阻挡盘的各所述通孔分别一一错开。通过在坩埚本体中设置若干阻挡盘,并且阻挡盘的通孔相互错开,使得蒸发材料能够通过通孔,而灰化物质则被阻挡盘所阻挡,使得灰化物质粘附在阻挡盘上,进而避免了容置腔内充满灰化物质,从而使得蒸发材料的蒸镀效果更佳,提高蒸镀产品的良率。
技术领域
本实用新型涉及有机发光显示制造技术领域,特别是涉及用于OLED蒸镀的坩埚。
背景技术
在平板显示行业,AMOLED(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode,有源矩阵有机发光二极体)显示器因其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色域广、高亮度、低功耗以及耐高低温等众多优点而被业界认为是最有可能成为继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术,国内外生产AMOLED显示屏的工厂越来越多,使用AMOLED显示的手机、可穿戴设备等也越来越多,AMOLED显示即将成为行业的又一颗新星。
AMOLED的发光原理主要是通过有机薄膜层形成发光二极管,目前,绝大部分中,小尺寸AMOLED显示屏的有机薄膜及阴极都是通过真空热蒸镀的方式沉积到背板上的,其中,膜层的纯度对器件的性能有着极大的影响。一些比较活泼的阴极金属材料及易灰化的有机材料,在蒸镀过程中会产生灰化物质,这些灰化物质耐高温,不易分解,且通常呈絮状。传统的坩埚在使用后,坩埚内部将会堆积大量的灰化物质,如果这些灰化物质溢出坩埚,随材料蒸汽流沉积到背板上,会导致器件的效率降低,同时可能由于杂质不发光,形成黑点等缺陷,使得产品的良率降低。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种坩埚。
一种坩埚,包括:坩埚本体和若干阻挡盘;
所述坩埚本体具有圆柱体结构,内部开设有容置腔,且所述坩埚本体开设有一开口,所述开口与所述容置腔连通;
各所述阻挡盘均设置于所述容置腔内,且各所述阻挡盘分别平行于所述坩埚本体的径向;
各所述阻挡盘分别开设有若干通孔,相邻的两个所述阻挡盘的各所述通孔分别一一错开。
在其中一个实施例中,至少一个所述阻挡盘上设置有若干过滤颗粒。
在其中一个实施例中,各所述过滤颗粒的粒径大于所述通孔的宽度。
在其中一个实施例中,各所述过滤颗粒设置于与所述坩埚本体的底部距离最大的所述阻挡盘上。
在其中一个实施例中,各所述阻挡盘等距设置。
在其中一个实施例中,所述阻挡盘具有圆形截面。
在其中一个实施例中,各所述通孔绕所述阻挡盘的圆心等距设置。
在其中一个实施例中,各所述通孔绕所述阻挡盘的圆心呈放射状设置。
在其中一个实施例中,所述阻挡盘的数量为三个。
在其中一个实施例中,还包括盖体,所述盖体与所述坩埚本体的所述开口的边缘连接,所述盖体盖设于所述开口,且所述盖体开设有通口,所述通口与所述开口连通。
上述坩埚,通过在坩埚本体中设置若干阻挡盘,并且阻挡盘的通孔相互错开,使得蒸发材料能够通过通孔,而灰化物质则被阻挡盘所阻挡,使得灰化物质粘附在阻挡盘上,进而避免了容置腔内充满灰化物质,从而使得蒸发材料的蒸镀效果更佳,提高蒸镀产品的良率。
附图说明
图1为一个实施例的坩埚的剖面结构示意图;
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