[实用新型]一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机

说明书

一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机，主要包括测厚仪，显示屏,旋转罗盘，液体储存装置，转轴，螺杆，导线，控制面板，底座，电源，传感器，可伸缩探头，喷液管，吹风筒，试样，螺栓；通过将改良后的测厚仪与匀胶机相结合，使得原本的涂膜繁琐工艺变得更加简单，更重要的是，增加了匀胶机的工作参数，使工作人员可以更清晰的知道每一次涂膜后薄膜的厚度，保证了薄膜的厚度，避免了在后期使用扫描电子显微镜和X射线衍射仪因厚度不达标而产生测量误差甚至检测不出来形貌及成分组成，会造成实验时间的延长或者实验结果偏差。

技术领域

本实用新型涉及共还原法制备薄膜的实验设备，主要涉及一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机。

背景技术

匀胶机的工作原理是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，主要应用领域为半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺。现在实验室用匀胶机的工作参数主要是匀胶速率、匀胶时间等，其匀胶速率主要目的是控制薄膜的均匀程度，匀胶时间主要目的是控制薄膜的厚度，但实验表明，薄膜的厚度厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。这就说明传统的实验参数并不能准确控制薄膜的厚度，对于实验中薄膜的厚度实验人员只能按照大概的方法做完涂膜实验然后拿去测厚度，这样不仅浪费时间，更重要的是如果检测到薄膜厚度不达标时会因为对薄膜表面造成污染而无法二次涂膜，从而重新进行实验，浪费实验原料，并且还是得不到准确的数据。

发明内容

一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机，主要包括测厚仪，显示屏,旋转罗盘，液体储存装置，转轴，螺杆，导线，控制面板，底座，电源，传感器，可伸缩探头，喷液管，吹风筒，试样，螺栓；其主要特征在于：控制面板与电源通过导线相连接；控制面板与测厚仪通过导线相连接；转轴与螺杆磁性连接；转轴与测厚仪固定连接；显示屏设置在测厚仪上方，测厚仪内部设有液体储存装置；旋转盘与测厚仪通过螺栓相连接，可伸缩探头，喷液管，吹风筒分别固定在圆形转盘的三个角上；传感器两边分别通过导线连接有匀胶机和测厚仪。

准备工作前，将试样放置在匀胶机上，同时将测厚仪旋转到指定位置。工作时，当匀胶机对试样涂膜完成后把信号通过传感器传输给测厚仪，同时，打开测厚仪电源开关，测厚仪开始工作。通过转盘手动旋转使得吹风筒对准试样，并通过控制面板打开吹风筒，设置相应的工作时间。吹风筒结束工作后，将转盘旋转使得喷液管对准试样，开始进行喷涂工作，喷涂工作结束后，通过传感器将信号传输给匀胶机，匀胶机开始工作，工作完成后将信号通过传感器传输给测厚仪，测厚仪开始工作，通过转盘手动旋转使得可伸缩探头对准试样，并通过控制面板打开可伸缩探头，测得薄膜厚度，并将数据传输到显示屏直接显示其薄膜厚度；以此循环，当薄膜达到指定厚度后即将测厚仪旋转至原来位置，并关闭电源随后将试样取下；若薄膜并未达到指定厚度，则打开匀胶机进行下一次涂膜工作，直至厚度达到标准为止。

一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机，通过将改良后的测厚仪与匀胶机相结合，使得原本的涂膜繁琐工艺变得更加简单，更重要的是，增加了匀胶机的工作参数，使工作人员可以更清晰的知道每一次涂膜后薄膜的厚度，保证了薄膜的厚度，避免了在后期使用扫描电子显微镜和X射线衍射仪因厚度不达标而产生测量误差甚至检测不出来形貌及成分组成，会造成实验时间的延长或者实验结果偏差。

附图说明：

图1是一种多功能自动检测薄膜厚度的匀胶机的主视图。

图中1是测厚仪，2是显示屏,3是旋转罗盘，4是液体储存装置，5是转轴，6是螺杆，7是导线，8是控制面板，9是底座，10是电源，11是传感器，12是可伸缩探头，13是喷液管，14是吹风筒，15是试样，16是螺栓。

具体实施方式：