[实用新型]一种可自动滴液的匀胶机

说明书

一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；通过伸缩杆与滴液瓶以及吹风机三者在匀胶机上的循环应用，使得工作人员在进行涂膜工作时，可以不必取下试样晾干，可以在匀胶机上进行烘干处理后直接进行循环涂膜；通过控制器调节伸缩杆每次向下移动一定的距离，进行自动定量的滴加溶液，不会因为工作人员的手动滴液使得每次滴加的溶液体积不等，还可以通过调整支架位置使溶液每次都滴加在试样正中心位置，使工作人员进行涂膜工作时更加快速便捷，同时也能保证薄膜表面的清洁度和均匀度。

技术领域

本实用新型涉及共还原法制备薄膜的实验设备，主要涉及一种可自动滴液的匀胶机。

背景技术

匀胶机是半导体薄膜制造工艺中关键性的一个设备，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。但现在实验室的匀胶机存在的最大问题就是需要手动滴液，工作效率慢且工作准确度差，这样很容易造成薄膜表面的不均匀，甚至因为工作人员的操作不当造成试样的浪费；且由于半导体涂膜过程中使用的前驱体溶液大部分都有毒，手动滴液稍有不慎会对工作人员身体造成极大的危害。故本实用新型设计出一种用于匀胶机上的可自动滴液的装置。

发明内容

一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；其主要特征在于：底座与支架固定连接；吹风机安装在支架上，并与控制面板通过导线相连接；控制面板通过导线分别与匀胶机、电源和控制器相连接；伸缩杆固定连接在支架上，并与活塞通过螺栓相连接；支架上设置有圆孔，滴液瓶安放在圆孔中，滴液瓶下方设置有滴液口；伸缩杆与控制器通过导线相连接；控制器通过导线分别与匀胶机和电源相连接；整套装置放置在匀胶机正上方。

工作时，将试样放置在匀胶机上，打开匀胶机使试样吸附在匀胶机上，打开电源开关，伸缩杆开始向下移动，带动活塞向下移动并将溶液通过滴液口从滴液瓶中滴下，通过控制器控制伸缩杆向下移动一定的距离，启动匀胶机开始工作；一段时间后，匀胶机停止工作并将信号传递给控制面板，通过控制面板控制吹风机工作一定的时间，吹风机工作结束后控制面板将信号传递给控制器，通过控制器控制伸缩杆工作，进行二次涂膜。当工作完成后可将滴液瓶取下进行清洗以便下一次使用。

一种可自动滴液的匀胶机，通过伸缩杆与滴液瓶以及吹风机三者在匀胶机上的循环应用，使得工作人员在进行涂膜工作时，可以不必取下试样晾干，可以在匀胶机上进行烘干处理后直接进行循环涂膜；通过控制器调节伸缩杆每次向下移动一定的距离，进行自动定量的滴加溶液，不会因为工作人员的手动滴液使得每次滴加的溶液体积不等，还可以通过调整支架位置使溶液每次都滴加在试样正中心位置，使工作人员进行涂膜工作时更加快速便捷，同时也能保证薄膜表面的清洁度和均匀度。

附图说明：

图1是一种可自动滴液的匀胶机的主视图。

图中1是支架，2是吹风机，3是活塞，4是伸缩杆，5是滴液口，6是控制面板，7是导线，8是电源，9是控制器，10是匀胶机，11是底座，12是滴液瓶，13是螺栓。

具体实施方式：

一种可自动滴液的匀胶机，主要包括支架，吹风机，活塞，伸缩杆，滴液口，控制面板，导线，电源，控制器，匀胶机，底座，滴液瓶，螺栓；其主要特征在于：底座与支架固定连接；吹风机安装在支架上，并与控制面板通过导线相连接；控制面板通过导线分别与匀胶机、电源和控制器相连接；伸缩杆固定连接在支架上，并与活塞通过螺栓相连接；支架上设置有圆孔，滴液瓶安放在圆孔中，滴液瓶下方设置有滴液口；伸缩杆与控制器通过导线相连接；控制器通过导线分别与匀胶机和电源相连接；整套装置放置在匀胶机正上方。

工作时，将试样放置在匀胶机上，打开匀胶机使试样吸附在匀胶机上，打开电源开关，伸缩杆开始向下移动，带动活塞向下移动并将溶液通过滴液口从滴液瓶中滴下，通过控制器控制伸缩杆向下移动一定的距离，启动匀胶机开始工作；一段时间后，匀胶机停止工作并将信号传递给控制面板，通过控制面板控制吹风机工作一定的时间，吹风机工作结束后控制面板将信号传递给控制器，通过控制器控制伸缩杆工作，进行二次涂膜。当工作完成后可将滴液瓶取下进行清洗以便下一次使用。