[实用新型]一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统

说明书

本实用新型涉及转盘技术领域，公开了一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统，转盘、连接轴、减速器、输入定位盘、驱动马达和输入端传感器，转盘通过连接轴与减速器的输出轴端轴连接，输入定位盘与减速器的输入轴端轴连接，输入端传感器设于输入定位盘，用于监测输入定位盘的转数，驱动马达与输入定位盘轴连接，用于驱动输入定位盘转动，利用与转盘轴连接的减速器，当转盘同一转速时，与现有技术相比，本实用新型输入端传感器检测到的输入定位盘的转数更多，大大缩短了输入端传感器和驱动马达的反应时间，更加灵敏；减小了转盘的转动速度对转盘的定位误差影响，大大提高了转盘在圆周方向上的定位精度，保证了转盘实现精确地步进运动。

技术领域

本实用新型涉及转盘技术领域，特别是涉及一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统。

背景技术

真空炉是生产各种元器件的工业自动化生产线中常用的热处理(钎焊、退火、烧结等)工艺设备，广泛应用于电真空、航空航天、电力电子、磁性材料、电子元器件等诸多热处理领域。

元器件批量装入料盘或者工装后放入真空炉内进行热处理工艺，真空炉的关键技术指标除了炉内的真空度度，就是温区内的温度均匀性，温度均匀性越好，产品的质量越高，同批次的产品性能指标一致性越好。在工件对温度的敏感性要求较高时，为保证其温度均匀性，通常在真空炉内安装转盘，使工件在炉内进行热处理的同时随着转盘一起转动，以保证工件在热处理时的温度均匀性从而确保产品的最终性能及其稳定性。

随着科技的迅猛发展，对高端元器件的性能和长期使用的稳定性提出了更高的要求，同时对其生产设备提出了更高的要求。各种不同的处理工艺需要衔接在真空环境中进行，于是产生了连续式真空炉，为了保证工件从转盘自动传送至下一工序，需要工件在转盘上精确定位。只要在转盘上下安装光电传感器即监测转盘的转动，但由于传感器及驱动马达的反应时间以及转盘的转动速度等影响，造成转盘的停止位置偏差，与后续工序对位精度较差，设备稳定性不高。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统，解决现有技术中由于传感器及驱动马达的反应时间以及转盘的转动速度等影响，造成转盘的停止位置偏差，与后续工序对位精度较差，设备稳定性不高的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种转盘的精确定位和步进机构，其特征在于，包括转盘、连接轴、减速器、输入定位盘、驱动马达和输入端传感器，所述转盘通过连接轴与所述减速器的输出轴端轴连接，所述输入定位盘与所述减速器的输入轴端轴连接，所述输入端传感器设于所述输入定位盘，用于监测所述输入定位盘的转数，所述驱动马达与所述输入定位盘轴连接，用于驱动所述输入定位盘转动。

其中，还包括输出定位盘，所述连接轴与所述减速器之间连接有可同轴转动的所述输出定位盘。

其中，还包括输出端传感器，所述输出端传感器设于所述输出定位盘，用于监测所述输出定位盘的转数。

其中，所述转盘上均匀布置多个工装定位槽。

本实用新型还公开一种石英晶体谐振器系统，包括真空腔室、真空计、腔室支架以及本实用新型的转盘的精确定位和步进机构，所述真空腔室设于所述腔室支架上，所述转盘的精确定位和步进机构设于所述真空腔室内，真空计用于测量所述真空腔室内的真空度。

(三)有益效果

本实用新型提供的一种转盘的精确定位和步进机构及石英晶体谐振器系统，利用与转盘轴连接的减速器，当转盘同一转速时，与现有技术相比，本实用新型输入端传感器检测到的输入定位盘的转数更多，大大缩短了输入端传感器和驱动马达的反应时间，更加灵敏；减小了转盘的转动速度对转盘的定位误差影响，大大提高了转盘在圆周方向上的定位精度，保证了转盘实现精确地步进运动。