[实用新型]一种显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括：

自动计量添加组件，包括用于分别存储并按预定比例自动输出所需量的显影液母液的第一储存罐(1)和去离子水的第二储存罐(2)；

混合保温组件，与所述自动计量添加组件连通，包括用于接收并混合所述第一储存罐(1)输出的显影液母液和所述第二储存罐(2)输出的去离子水的混合罐(3)以及对所述混合罐(3)进行保温的温控机构(4)，所述混合罐(3)为内置有搅拌器(10)的密封罐体；

显影组件(5)，与所述混合罐(3)连接，用于对待显影的基板进行显影。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述搅拌器(10)为设置在所述混合罐(3)底部的磁力搅拌器，且所述磁力搅拌器的驱动装置设置在所述混合罐(3)的外部。

3.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，还包括分设在所述混合罐(3)内部不同水平位置的若干个pH检测器(7)。

4.根据权利要求3所述的显影装置，其特征在于，若干个所述pH检测器(7)分设在所述混合罐(3)的上部、中部和下部。

5.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述混合罐(3)的外部设置有夹套(31)，所述温控机构(4)分别连接至所述夹套(31)以及用于连接所述混合罐(3)和所述显影组件(5)的管路(6)上。

6.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，还包括若干个氮气控制阀(8)，所述氮气控制阀(8)分设在所述第一储存罐(1)、第二储存罐(2)和混合罐(3)上，用于向所述第一储存罐(1)、第二储存罐(2)和混合罐(3)中添加氮气，形成氮气保护。

7.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于，还包括若干个泄压安全阀(9)，所述泄压安全阀(9)分设在所述第一储存罐(1)、第二储存罐(2)和混合罐(3)上，用于调控所述第一储存罐(1)、第二储存罐(2)和混合罐(3)中的压力。

8.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，在所述第一储存罐(1)和第二储存罐(2)与所述混合罐(3)的连接管路上还分别设置有根据所述混合罐(3)中的液位自动开关的第一自动控制阀门(11)和第二自动控制阀门(21)。

9.根据权利要求8所述的显影装置，其特征在于，所述连接管路的出口延伸至所述混合罐(3)的底部。

10.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述第一储存罐(1)和第二储存罐(2)的进口还分别连接至显影液母液供应系统和去离子水供应系统。