[实用新型]一种硅片输送装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片输送装置，包括第一输送组件，第二输送组件，机架，丝杆，旋转件和导向杆，第一输送组件和第二输送组件为结构相同的输送组件，输送组件包括第一侧板，第二侧板，底板，螺母，滚筒，传输带和导向座，第一、第二侧板相对设置，第一、第二侧板设置在底板和导向座上，滚筒设置在第一、第二侧板之间，传输带绕设在滚筒之间，螺母设置在底板底部，丝杆包括第一螺纹部和第二螺纹部，第一、第二螺纹部的螺纹方向相反，第一输送组件和第二输送组件的螺母分别设置在第一螺纹部和第二螺纹部上，旋转件设置在丝杆一端，所述导向杆设置在机架上，导向座设置在导向杆上。本实用新型能够显著提升了输送效率，提升使用灵活性。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备，特别涉及一种硅片输送装置。

背景技术

目前，硅片输送通常采用传输带输送装置，传输带输送机具有输送能力强，输送距离远，结构简单易于维护，能方便地实行程序化控制和自动化操作等优点。硅片可直接或放置在容器中后置于输送带上输送，但是，现有的传输带输送机只能输送设定尺寸的硅片，若硅片尺寸太大，必须采用大尺寸输送机，当生产小尺寸硅片时，大尺寸输送机耗能较大，输送效率也无法提升。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术的问题，提供了一种使用灵活性更好，操作方便，输送效率较高的硅片输送装置。

具体技术方案如下：一种硅片输送装置，包括第一输送组件，第二输送组件，机架，丝杆，旋转件和导向杆，所述第一输送组件和第二输送组件为结构相同的输送组件，输送组件包括第一侧板，第二侧板，底板，螺母，滚筒，传输带和导向座，所述第一、第二侧板相对设置，第一、第二侧板设置在底板和导向座上，所述滚筒设置在第一、第二侧板之间，传输带绕设在滚筒之间，所述螺母设置在底板底部，丝杆包括第一螺纹部和第二螺纹部，第一、第二螺纹部的螺纹方向相反，第一输送组件和第二输送组件的螺母分别设置在第一螺纹部和第二螺纹部上，所述旋转件设置在丝杆一端，所述导向杆设置在机架上，导向座设置在导向杆上。

以下为本实用新型的附属技术方案。

作为优选方案，所述输送组件包括侧挡装置，侧挡装置设置在第一侧板上。

作为优选方案，所述侧挡装置包括多个滚轮，滚轮纵向设置，多个滚轮沿传输带方向排成一列。

作为优选方案，所述输送装置包括调节组件，调节组件包括第一托辊和第二托辊，两个第一托辊间隔设置，第二托辊设置在第一托辊下方，传输带穿过第一、第二托辊之间。

作为优选方案，所述第一侧板包括条形槽，至少一个第一托辊设置在条形槽中。

作为优选方案，所述第一侧板与第二侧板对称设置，第一侧板与第二侧板均为L形。

本实用新型的技术效果：本实用新型的一种硅片输送装置能够使输送装置合并或分离，当输送小尺寸硅片时，能够作为两条输送线使用，显著提升了输送效率，提升使用灵活性；此外，能够避免硅片从而传输带上掉落，防止硅片受损。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一种硅片输送装置的俯视图。

图2是本实用新型实施例的一种硅片输送装置的仰视图。

图3是本实用新型实施例的一种硅片输送装置的侧视图。

图4是本实用新型实施例的一种硅片输送装置的主视图。

具体实施方式

下面，结合实例对本实用新型的实质性特点和优势作进一步的说明，但本实用新型并不局限于所列的实施例。