[实用新型]气体发生装置、配气装置及气体检测装置

权利要求书

1.一种气体发生装置，其特征在于，包括：

气体发生器，所述气体发生器上具有毛细孔，待配物质的溶液挥发形成的初始气体能够通过所述毛细孔从所述气体发生器的腔室扩散至所述气体发生器的外部；

第一混合容器，所述第一混合容器具有进气口和出气口，所述气体发生器密封于所述第一混合容器内，所述第一混合容器与所述气体发生器之间形成气体混合腔室，所述进气口和所述出气口与所述气体混合腔室连通，所述第一混合容器和所述气体发生器之间能够传热；以及

温度控制器，所述温度控制器用于控制所述第一混合容器和所述气体发生器的温度。

2.根据权利要求1所述的气体发生装置，其特征在于，所述气体发生装置还包括隔热罩，所述第一混合容器容纳在所述隔热罩内，所述隔热罩能够阻滞所述隔热罩的内部和外部之间进行热流传递。

3.根据权利要求1所述的气体发生装置，其特征在于，所述进气口、所述毛细孔以及所述出气口的设置位置使得所述第一混合容器中的气体流通依次途经所述进气口、所述毛细孔以及所述出气口。

4.根据权利要求1所述的气体发生装置，其特征在于，所述气体发生器包括发生器口、发生器盖及垫片，所述发生器盖盖在所述发生器口上，所述垫片垫在所述发生器口和所述发生器盖之间，所述毛细孔穿过所述发生器盖。

5.根据权利要求1所述的气体发生装置，其特征在于，所述毛细孔的连通方向和所述出气口的连通方向在一条直线上。

6.根据权利要求1所述的气体发生装置，其特征在于，所述第一混合容器还包括金属底座，所述第一混合容器与所述气体发生器通过所述金属底座相连，并且所述金属底座与所述气体发生器之间能够传热，所述金属底座通过所述温度控制器进行加热。

7.一种配气装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-6任一项所述的气体发生装置；

稀释气体源，所述稀释气体源用于提供第一稀释气体及第二稀释气体；

第一管路及第一流量控制器，所述第一管路与所述进气口连通，所述稀释气体源通过所述第一管路向所述气体混合腔室提供所述第一稀释气体，所述第一稀释气体与所述初始气体在所述气体混合腔室中形成初始混合气体，所述第一流量控制器用于控制所述第一管路流通的所述第一稀释气体的流量；

第二混合容器；

第二管路及第二流量控制器，所述第二管路与所述第二混合容器连通，所述稀释气体源通过所述第二管路向所述第二混合容器提供所述第二稀释气体，所述第二流量控制器用于控制所述第二管路流通的所述第二稀释气体的流量；以及

第四管路，所述第四管路两端分别与所述出气口及所述第二混合容器连通，所述初始混合气体通过所述第四管路进入所述第二混合容器，并与所述第二稀释气体在所述第二混合容器中混合，形成最终混合气体。

8.根据权利要求7所述的配气装置，其特征在于，所述稀释气体源为空气压缩机，所述第一稀释气体及第二稀释气体的压力大于一个大气压。

9.根据权利要求7所述的配气装置，其特征在于，所述配气装置还包括干燥器，所述干燥器用于干燥所述稀释气体源输出的所述第一稀释气体及第二稀释气体。

10.一种气体检测装置，其特征在于，包括：

如权利要求7-9任一项所述配气装置；

检测机构，所述检测机构包括传感器以及传感器容置器，所述传感器密封于所述传感器容置器中，所述传感器用于检测所述最终混合气体的浓度；以及

第五管路，所述第五管路与所述传感器容置器连通，所述最终混合气体通过所述第五管路进入所述传感器容置器。

11.根据权利要求10所述的气体检测装置，其特征在于，所述气体检测装置还包括第六管路及第一吸收室，所述第六管路的两端分别与所述传感器容置器及所述第一吸收室连通，所述第一吸收室用于吸收所述传感器容置器输出的尾气。