[实用新型]介质阻挡放电离子源有效
申请号: | 201721503728.1 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN207800542U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 左国民;杜正;王学峰;汪小知;高适;刘永静;李鹏;张荣;陈俊祥;张立功 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军陆军防化学院;苏州微木智能系统有限公司 |
主分类号: | H01J27/02 | 分类号: | H01J27/02 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 贾满意 |
地址: | 102205 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 螺旋电极 绝缘层 介质阻挡放电 放电电极 离子源 起始端 外螺旋 侧壁 平行间隔设置 本实用新型 放电沟道 样品电离 样品流量 螺旋状 电离 延伸 减小 连贯 | ||
1.一种介质阻挡放电离子源,其特征在于,包括:
第一螺旋电极(100),所述第一螺旋电极(100)为带状,且由起始端向外螺旋延伸;
第二螺旋电极(200),所述第二螺旋电极(200)为带状,且由起始端向外螺旋延伸,所述第二螺旋电极(200)与所述第一螺旋电极(100)共面且平行间隔设置;
第一绝缘层(510),所述第一绝缘层(510)设置于所述第一螺旋电极(100)与所述第二螺旋电极(200)相对的侧壁;
第二绝缘层(520),所述第二绝缘层(520)设置于所述第二螺旋电极(200)与所述第一螺旋电极(100)相对的侧壁。
2.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述第一螺旋电极(100)与所述第二螺旋电极(200)互补,并共同构成圆形结构。
3.根据权利要求2所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述第一螺旋电极(100)的起始端与所述第二螺旋电极(200)的起始端为互补的太极头。
4.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,第一螺旋电极(100)包括第一螺旋条状基体(110),和覆盖所述第一螺旋条状基体(110)的第一导电层(120);
所述第二螺旋电极(200)包括第二螺旋条状基体(210),和覆盖所述第二螺旋条状基体(210)的第二导电层(220);
所述第二螺旋条状基体(210)与所述第一螺旋条状基体(110)平行间隔设置。
5.根据权利要求4所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述第一导电层(120)设置于所述第一螺旋条状基体(110)与所述第二螺旋条状基体(210)相对的侧壁;
所述第二导电层(220)设置于所述第二螺旋条状基体(210)与所述第一螺旋条状基体(110)相对的侧壁。
6.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,还包括:
第一支撑架(130),所述第一支撑架(130)与所述第一螺旋电极(100) 的螺旋外围端固定连接;
第二支撑架(230),所述第二支撑架(230)与所述第二螺旋电极(200)的螺旋外围端固定连接。
7.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述第一螺旋电极(100)与所述第二螺旋电极(200)之间形成有螺旋放电沟道(300),所述螺旋放电沟道(300)的延伸方向与所述第一螺旋电极(100)和所述第二螺旋电极(200)的延伸方向相同。
8.根据权利要求7所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述螺旋放电沟道(300)的宽度为10微米-100微米。
9.根据权利要求7所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述螺旋放电沟道(300)的纵宽比大于10:1。
10.根据权利要求1所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,所述第一螺旋电极(100)和所述第二螺旋电极(200)相对的表面设置有多个第一凸点(140);
所述第二螺旋电极(200)和所述第一螺旋电极(100)的表面设置有多个第二凸点(240)。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的介质阻挡放电离子源,其特征在于,进一步包括电源(400),所述电源(400)分别与所述第二螺旋电极(200)和所述第一螺旋电极(100)电连接。
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