[实用新型]一种多晶硅清洗机有效
申请号: | 201721509086.6 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN207668100U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 何建志 | 申请(专利权)人: | 浙江启瑞电子有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;B08B3/14 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 324300 浙江省衢州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
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本实用新型涉及一种多晶硅清洗机,属于多晶硅生产加工设备领域,包括底座,所述底座上设有支撑架,所述支撑架上装有清洗桶,所述清洗桶的两端设有桶口,所述桶口上装有清洗桶盖,所述清洗桶盖上设有桶盖把手和桶盖密封阀,所述清洗桶内设有转轴,所述转轴固定在清洗桶的上表面,所述转轴的上端装有传动带,所述传动带的另一端连接在电机上,所述清洗桶的下方设有滤网,所述滤网下面设有加水排水孔,所述滤网与加水排水孔之间装有推拉板。本实用新型结构简单,提供的一种多晶硅清洗机可以实现对多晶硅的自动清洗,清洗桶的两端均设有清洗桶盖,使加料或收料更加方便快捷,另外,搅动叶可以使得清机过程更彻底,实用性强。
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产加工设备领域,主要涉及一种多晶硅清洗机。
技术背景
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。
多晶硅具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导电性。电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化,再经冷凝、精馏、还原而得。
多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显着,甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面,两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别,但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。
多晶硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,被称为“微电子大厦的基石”。多晶硅的生产加工过程主要包括对晶硅的清洗、检测—坩埚喷涂—对晶硅的铸锭—硅锭剖方—硅块检验—去头尾—磨面—倒角—粘胶—切片—硅片脱胶—硅片清洗—硅片检验—硅片包装—硅片入库。无论是在多晶硅加工前后,都需要对其进行清洗,因此设计一种实用的多晶硅清洗机是非常有必要的。
发明内容
为了在对多晶硅生产加工过程中实现对其的清洗处理,本实用新型提供一种结构简单的多晶硅清洗机,可以实现对多晶硅的自动清洗,清洗桶的两端均设有清洗桶盖,使加料或收料更加方便快捷,另外,搅动叶可以使得清机过程更彻底,实用性强。
本实用新型所采用的设计方案是:一种多晶硅清洗机,包括底座1,所述底座1上设有支撑架2,所述支撑架2上装有清洗桶3,所述清洗桶3的两端设有桶口4,所述桶口4上装有清洗桶盖5,所述清洗桶盖5上设有桶盖把手6和桶盖密封阀7,所述清洗桶3内设有转轴8,所述转轴8固定在清洗桶3的上表面,所述转轴8的上端装有传动带10,所述传动带10的另一端连接在电机11上,所述清洗桶3的下方设有滤网12,所述滤网12下面设有加水排水孔14,所述滤网12与加水排水孔14之间装有推拉板13。
本实用新型提供的设计方案中,所述桶口4有两个,分别位于清洗桶3的两端,且每个桶口4上均有一个清洗桶盖5,两个清洗桶盖5结构相同。
本实用新型提供的设计方案中,所述搅动叶9固定在转轴8上,共有三层结构,每层搅动叶9有六个,均匀分布在转轴8的一周。
本实用新型提供的设计方案中,所述转轴8安装在清洗桶3的上面,并穿过清洗桶3的上表面,且可以转动。
本实用新型提供的设计方案中,所述加水排水孔14与清洗桶3内部为连通结构,可以用于加水或者排水,其具体过程由推拉板13控制。
本实用新型提供的设计方案中,所述滤网12位于加水排水孔14的上端,网孔尺寸小于对晶硅的尺寸,防止在完成对多晶硅的清洗后排水时物料的掉落。
本实用新型具有以下优点:
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