[实用新型]基于匀化装置的激光输出系统有效
申请号: | 201721515643.5 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN207521870U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 王建刚;王雪辉;李俊;程伟;温彬;李国栋 | 申请(专利权)人: | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
主分类号: | B23K26/064 | 分类号: | B23K26/064 |
代理公司: | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人: | 黄行军 |
地址: | 430223 湖北省武汉市武汉东湖高*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 匀化装置 激光输出系统 光学镜组 聚焦镜 激光器 激光束 扩束镜 激光加工技术 本实用新型 反射镜反射 密度分布 输出激光 硬脆材料 匀化处理 受热 输出 反射镜 微裂纹 崩边 和匀 扩束 良率 入射 激光 聚焦 转换 加工 保证 | ||
1.一种基于匀化装置的激光输出系统,包括激光器、扩束镜、反射镜和聚焦镜,其特征在于:还包括光学镜组和用于使激光束在工件厚度上能量密度均匀分布的匀化装置,所述激光器发出的激光束经扩束镜扩束,并经45°设置的反射镜反射后进入光学镜组,所述激光束经光学镜组转换为贝塞尔光束后入射至匀化装置,所述匀化装置对所述贝塞尔光束进行匀化处理,并输出至聚焦镜,所述聚焦镜对光束进行聚焦后形成在工件厚度上能量密度均匀分布的加工激光输出。
2.如权利要求1所述基于匀化装置的激光输出系统,其特征在于:所述光学镜组为轴棱锥镜组或位相光栅。
3.如权利要求1所述基于匀化装置的激光输出系统,其特征在于:所述匀化装置为位相光栅。
4.如权利要求1所述基于匀化装置的激光输出系统,其特征在于:所述匀化装置的镜面材质为熔融石英。
5.如权利要求3所述基于匀化装置的激光输出系统,其特征在于:当所述激光器输出激光的波长为1064nm,且加工工件厚度为1.5mm时,所述匀化装置的凸面曲率为23.352mm。
6.如权利要求1所述基于匀化装置的激光输出系统,其特征在于:所述反射镜与光学镜组之间还设有整形装置。
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