[实用新型]一种抽真空装置

权利要求书

1.一种抽真空装置，包括真空泵（1），其特征在于：所述的真空泵（1）连通有主通道（2），还包括若干真空罐（3），所述的真空罐（3）上下两端分别连通有第一辅通道（4）和第二辅通道（5），所述的第一辅通道（4）与主通道（2）连通，所述的主通道（2）、第一辅通道（4）、第二辅通道（5）上均设有阀门（7），所述的真空罐（3）连接有压力检测单元。

2.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于：所述的第二辅通道（5）之间连通有平衡通道（6），所述的平衡通道（6）上设有阀门（7）。

3.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于：所述的主通道（2）、第一辅通道（4）、第二辅通道（5）和平衡通道（6）上均设有止回阀。

4.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于：所述的第二辅通道（5）上设有止回阀。

5.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于：所述的相邻第二辅通道（5）之间设有平衡通道（6）。

6.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于：任何两个第二辅通道（5）之间均设有平衡通道（6）。

7.根据权利要求2所述的抽真空装置，其特征在于：所述的第二辅通道（5）上且位于平衡通道（6）两侧均设有阀门（7）。

8.根据权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于：抽真空装置还包括辅助真空泵（8），所述的真空罐（3）至少一个和辅助真空泵（8）相连。

9.根据权利要求8所述的抽真空装置，其特征在于：所述的真空罐（3）和辅助真空泵（8）之间设有真空缓冲罐。