[实用新型]多元合金薄膜的制备装置

权利要求书

1.多元合金薄膜的制备装置，其特征在于，包括连接有真空泵组(7)的腔室(1)、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器(2)、用于放置沉积基片的可转动基座(3)、多个产生双脉冲激光的激光器组(4)、基座控制器(5)和数据采集控制单元(6)；

所述可转动基座(3)位于所述腔室(1)内，所述多个金属液容器(2)与所述腔室(1)连通，每个金属液容器(2)均设有脉冲加压设备，将金属液以脉冲液滴的形式压入所述腔室(1)；所述多个激光器组(4)与所述多个金属液容器(2)一一对应，使得射出的多束双脉冲激光一一对应轰击多种脉冲液滴并产生相应的等离子体并溅射沉积在所述沉积基片上形成多元合金薄膜；

所述数据采集控制单元(6)采集所述可转动基座(3)的温度和位移信息，并控制所述脉冲加压设备的加压频率和所述多个激光器组(4)的双脉冲激光的射出频率和能量，从而控制所述双脉冲激光轰击对应的脉冲液滴的频率和能量，实现等离子体薄膜沉积的自动控制；

所述基座控制器(5)通过所述数据采集控制单元(6)收集的基座的温度和位移信息，控制基座的温度、自转和移动。

2.如权利要求1所述的制备装置，其特征在于，

所述制备装置还包括同步触发器，所述同步触发器通过所述数据采集控制单元(6)使激光双脉冲发射与对应的脉冲液滴形成同步。

3.如权利要求1所述的制备装置，其特征在于，

所述制备装置还包括检测组件，所述数据采集控制单元(6)通过所述检测组件采集所述腔室(1)的真空度和气体成分数据进而控制所述真空泵组(7)的抽气；

所述制备装置还包括进气组件，其中一个进气组件位于所述腔室(1)上，控制所述腔室(1)内的气体成分；另外多个进气组件位于所述金属液容器(2)上，与所述多个金属液容器一一对应。

4.如权利要求1所述的制备装置，其特征在于，

所述制备装置还包括挡片(10)，所述挡片(10)可拆卸地设置于所述基座(3)和所有双脉冲激光与脉冲液滴作用点连成的作用面之间；

所述制备装置还包括多个聚焦透镜(11)，所述多个聚焦透镜(11)与所述多个激光器组(4)一一对应设置，每个聚焦透镜(11)位于对应的激光器组(4)和双脉冲激光和脉冲液滴的作用点之间，使得聚焦透镜(11)的焦点正好为双脉冲激光和脉冲液滴的作用点。

5.如权利要求3所述的制备装置，其特征在于，

所述脉冲加压设备上有激振器，惰性气体由进气组件进入金属液容器(2)并经过激振器形成脉冲气压，将所述金属液以脉冲液滴的形式喷入所述腔室(1)。

6.如权利要求1所述的制备装置，其特征在于，

所述金属液容器(2)的底部中心均设有喷孔，所述喷孔与所述腔室(1)相通，每个所述喷孔到所述沉积基片的中心的水平距离和垂直距离均分别相等，每束双脉冲激光与对应的脉冲液滴的作用点到所述沉积基片的中心的水平距离和垂直距离均分别相等，射出的每束双脉冲激光的延长线与沉积基片平面夹角均相等。

7.如权利要求1所述的制备装置，其特征在于，

所述多个金属液容器完全一致，所述多个激光器组完全一致；

所述脉冲液滴尺寸均匀，直径为微米量级，每束双脉冲激光通过对应的聚焦透镜(11)聚焦成光斑轰击对应的脉冲液滴，光斑的直径大于对应的脉冲液滴的直径。