[实用新型]一种单晶炉连续加料装置

权利要求书

1.一种单晶炉连续加料装置，其特征在于，包括原料仓（10）、输料管（20）、内石英坩埚（30）以及外石英坩埚（40），原料仓（10）通过输料管（20）与内石英坩埚（30）连接，内石英坩埚（30）设于外石英坩埚（40）内，

所述原料仓（10）上部设有仓盖（15），原料仓（10）内部设有原料储藏腔（14），原料储藏腔（14）下端设有抽真空通道（13）与原料仓出料通道（11），原料仓出料通道（11）下端设有真空阀（12），真空阀（12）设于原料仓（10）外侧；

所述输料管（20）包括出料口（21）与连接件（22），输料管（20）上端设有连接件（22），连接件（22）与原料仓出料通道（11）下端连接，输料管（20）下端设有出料口（21）；

所述内石英坩埚（30）包括熔液流通孔（31）以及输料管孔（32），内石英坩埚（30）中部设有多个贯穿的熔液流通孔（31），内石英坩埚（30）法兰一侧设有输料管孔（32），输料管孔（32）内设有出料口（21）；

所述外石英坩埚（40）内一侧设有浮力档件（41），浮力档件（41）设于出料口（21）下端，外石英坩埚（40）内底部设有石英坩埚底座（42），石英坩埚底座（42）上置有内石英坩埚（30）。

2.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述原料仓出料通道（11）为弯曲形状。

3.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述仓盖（15）通过螺栓与原料仓（10）连接，且仓盖（15）可拆卸。

4.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述输料管（20）露出单晶炉部分为耐热钢材，炉内部分由石墨制成。

5.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述熔液流通孔（31）数量至少为2个。

6.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述石英坩埚底座（42）下端设有贯穿通孔。

7.根据权利要求1所述的单晶炉连续加料装置，其特征在于，所述浮力档件（41）由钼制成，其形状为“L”型。