[实用新型]电晕预电离电极、激光振荡器和准分子激光装置有效
| 申请号： | 201721531816.2 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207542555U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 西坂敏博 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/038 | 分类号： | H01S3/038 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 背面电极 预电离电极 电晕 电介质管 预电离 激光振荡器 准分子激光 金属部件 固定管 外电极 本实用新型 绝缘距离 异常放电 高电压 施加 覆盖 | ||
【权利要求书】：
1.一种电晕预电离电极，包括：电介质管；预电离外电极，其与所述电介质管的外表面接触；背面电极，其插入到所述电介质管中；
其特征在于，所述电晕预电离电极还包括：
固定管，其覆盖所述背面电极的一部分；
其中，所述背面电极的在所述电介质管的所述预电离外电极存在的部分处的外径形成为比所述固定管的内径大。
2.根据权利要求1所述的电晕预电离电极，其中，所述电介质管的内径形成为比所述固定管的外径大。
3.根据权利要求1所述的电晕预电离电极，其中，所述电介质管覆盖所述固定管的一部分。
4.根据权利要求1所述的电晕预电离电极，其中，所述背面电极与所述固定管接触的一侧形成有锥形部，在所述锥形部处所述背面电极的外径从所述一侧的相反侧向所述一侧逐渐变小。
5.根据权利要求4所述的电晕预电离电极，其中，所述电介质管在所述一侧构成为覆盖所述固定管；所述固定管在所述一侧构成为覆盖所述锥形部的一部分。
6.根据权利要求4所述的电晕预电离电极，其中，所述锥形部与所述背面电极的外径较大的圆柱部接触的第一部分、和所述锥形部与所述固定管接触的第二部分通过平滑曲面连接。
7.一种激光振荡器，包括激光腔室；其特征在于，所述激光腔室中配置有如权利要求1至6任一项所述的电晕预电离电极。
8.一种准分子激光装置，其特征在于，所述准分子激光装置包括如权利要求7所述的激光振荡器。
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