[实用新型]放电激励激光装置

说明书

本实用新型提供一种放电激励激光装置，其中，该放电激励激光装置包括：导电性的激光腔室，其具有放电电极和与放电电极连接的电容器；以及导电性的壳体，其与激光腔室连接，并且壳体具有对电容器进行充电的脉冲充电电路；其中，在激光腔室和壳体之间配置具有弹性的多个凸状金属部。这样，即使反复进行激光腔室与具有脉冲充电电路的壳体之间的分离和连接，也能够抑制激光腔室与具有脉冲充电电路的壳体连接时导通性能和密封性能的下降。因此，即使反复进行维修，也能够有效地将放电激励激光装置产生的电磁噪声通过接地引出到激光腔室外，因此能够使激光装置稳定地进行工作。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种放电激励激光装置。

背景技术

在放电激励激光装置中，通常进行几千伏以上的高电压的转换和放电，此时，由于高电压的转换和放电将产生较强的电磁噪声，因此有时会引起附近的电子电路的错误动作。

图1是现有的放电激励激光装置的示意图。如图1所示，放电激励激光装置100包括在外框110内设置的激光腔室单元120和脉冲充电电路单元130，在激光腔室单元120和脉冲充电电路单元130之间设置激光腔室单元侧屏蔽外壳140和脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150，激光腔室单元侧屏蔽外壳140和脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150相互连接且具有接触面160，激光腔室单元侧屏蔽外壳140和脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150接地，从而屏蔽由于放电产生的电磁噪声并将电磁噪声通过接地而引出到激光腔室外。在对激光腔室单元120进行维修时，可以将脉冲充电电路单元130留在外框110中而只将激光腔室单元120从外框110中取出，在维修完成后重新安装至激光装置主体中。

例如，专利文献1(JP2014-82243A)公开了类似的结构。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

本实用新型的发明人发现，在对上述现有的放电激励激光装置进行反复维修后，由于激光腔室单元侧屏蔽外壳140随着激光腔室单元120多次从外框110中取出并重新安装在脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150上，激光腔室单元侧屏蔽外壳140和脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150之间的接触面160由于多次的分离和连接而容易产生变形，导致激光腔室单元侧屏蔽外壳140和脉冲充电电路单元侧屏蔽外壳150的导通性能和密封性能的下降，从而无法有效的将电磁噪声引出，对激光装置的正常工作产生影响。

本实用新型实施例提供一种放电激励激光装置，在激光腔室和具有脉冲充电电路的壳体之间配置具有弹性的多个凸状金属部，即使反复进行激光腔室与具有脉冲充电电路的壳体之间的分离和连接，也能够抑制激光腔室与具有脉冲充电电路的壳体连接时导通性能和密封性能的下降。因此，即使反复进行维修，也能够有效地将放电激励激光装置产生的电磁噪声通过接地引出到激光腔室外，因此能够使激光装置稳定地进行工作。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种放电激励激光装置，所述放电激励激光装置包括：导电性的激光腔室，其具有放电电极和与所述放电电极连接的电容器；以及导电性的壳体，其与所述激光腔室连接，并且所述壳体具有对所述电容器进行充电的脉冲充电电路；其中，在所述激光腔室和所述壳体之间配置具有弹性的多个凸状金属部。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述多个凸状金属部配置成朝向所述壳体突出。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述多个凸状金属部配置在所述激光腔室的周向上。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述多个凸状金属部连续的配置在所述激光腔室的整个周向上。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述激光腔室在周向上具有槽，所述多个凸状金属部配置在所述槽中。