[实用新型]射频激励的气体激光器预电离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电离装置，具体涉及一种射频激励的气体激光器预电离装置。

背景技术

射频激光器是射频电路激励的一种气体激光器。当射频功率注入气体激光器腔体时，每次点燃以后无法保证放电均匀性和稳定性。所以，将一定的电子引入放电区域，使其激光器的性能会大大提高，这个过程叫做激光器的预电离。射频激励气体激光器由于工作气体在点燃以后呈导体状态，与未点燃之前有很大的不同，导致腔内谐振发生改变，一般会使谐振减少1～3MHz。所以，预电离频率与激光器工作维持频率差1～3MHz。

现有技术一般采用单一频率，不同占空比的射激功率注入腔内，达到预电离的目的。但由于单一频率一般为放电后等离子体导通情况下的谐振频率，也就是激光器维持频率。这种方式由于注入功率的频率与未点燃时激光器谐振频率不一致，无法保证预电离装置的可靠性，经常发生无法有效电点燃的情况。如果提高一定功率输入，即提高控制信号占空比，预电离效果好，却有一定强度激光射出，有一定危险；

现有技术只能粗略提供一个频率，没有办法精准提供预电离同激光工作维持2个频率。

实用新型内容

本实用新型要解决现有技术中的技术问题，提供一种射频激励的气体激光器预电离装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案具体如下：

一种射频激励的气体激光器预电离装置，包括：第一晶振，第一晶振调制器，第二晶振，多个逻辑元件，射频功放，以及射频激励的二氧化碳激光器腔体；其中：

第一与门的输入端分别同第一晶振的输出端和第一晶振调制器的输出端相连；

第二与门的一个输入端同第一与门的输出端相连；另外一个输入端同非门的输出端相连；

非门的输入端和主激光控制信号相连；

第三与门的输入端分别与主激光控制信号和第二晶振相连；

或门的一个输入端同第二与门的输出端相连；另外一个输入端同第三与门的输出端相连；或门的输出端同射频功放相连；

射频功放和射频激励的二氧化碳激光器腔体相连。

在上述技术方案中，当激光器通电以后，第一与门的两个输入端皆为高电平，第一与门输出高电平，主激光控制信号为低电平，经非门输出高电平；此时，第二与门的一个输入端为高电平，另一个输入端为高电平，则第二与门的输出端为高电平，主激光器控制信号为低电平；第二晶振输出高电平；第三与门的一个输入端为高电平，另一个输入端为低电平；此时第三与门为低电平输出；或门的一个输入端为低电平，另一个输入端为高电平；或门输出高电平；输出信号为第一晶振信号，此时激光器为非工作预电离状态；

当主激光控制信号为开时，非门输出低电平，第二与门输出低电平；第一晶振信号被抑制，同时第三与门的一个输入端为高电平，第二晶振信号为高电平；第三与门输出高电平；或门的一个输入端为高电平，另一个输入端为为低电平；或门输出高电平；输出信号为第二晶振信号，此时激光器为工作状态，无预电离。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的射频激励的气体激光器预电离装置，可以精准提供预电离频率和维持频率2个频率，避免了点不着火的情况，同时可以保证在工作时处在最佳状态。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

图1为本实用新型的射频激励的气体激光器预电离装置的逻辑结构设计示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做以详细说明。

本实用新型的发明思想为：本实用新型提供了一种可自动调节的预电离方式。一方面提供与未点燃时激光器相同的谐振频率。一方面提供点燃后激光器的维持频率。两个频率可实现自动切换，激光器通电以后第1频率产生预电离，将第1频率的一定功率注入腔体内，达到预电离的目的，当有激光控制信号输入时，自动结束第1频率预电离切换第2频率，以维持激光的点燃。

结合图1具体说明本实用新型的射频激励的气体激光器预电离装置包括：第一晶振，第一晶振调制器，第二晶振，多个逻辑元件，射频功放，以及射频激励的二氧化碳激光器腔体；其中：

第一与门1的输入端分别同第一晶振的输出端和第一晶振调制器的输出端相连；

第二与门3的一个输入端同第一与门1的输出端相连；另外一个输入端同非门2的输出端相连；

非门2的输入端和主激光控制信号相连；

第三与门4的输入端分别与主激光控制信号和第二晶振相连；