[实用新型]一种基于石墨烯的压阻式真空计有效
| 申请号： | 201721542148.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207487885U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 任天令;庞于;靳馥华;杨轶 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨烯 传感元件 压阻式 真空计 本实用新型 柔性载体 电极 测量 压力传感器 监测电流 紧密贴合 石墨烯片 市场应用 灵敏度 包覆 堆叠 响应 | ||
1.一种基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，包括：
若干个石墨烯传感元件(1)，包括多个堆叠的石墨烯片；
载体(2)，包括柔性载体，所述柔性载体包覆于所述石墨烯传感元件(1)的外表面，并与所述石墨烯传感元件(1)紧密贴合；
电极(3)，所述电极(3)与所述石墨烯传感元件(1)的外表面连接，构成监测电流的回路。
2.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述载体(2)还包括刚性载体，所述柔性载体粘附于所述刚性载体或放置于两片所述刚性载体之间。
3.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述电极(3)包括通过金属互连引出的导线或溅射的金属电极。
4.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述石墨烯传感元件(1)位于所述柔性载体的力学中心位置。
5.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述石墨烯传感元件(1)为一个或多个阵列。
6.如权利要求5所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述多个石墨烯片上下对齐堆叠或错开堆叠。
7.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述石墨烯片为微纳结构。
8.如权利要求1所述的基于石墨烯的压阻式真空计，其特征在于，所述石墨烯传感元件(1)还包括定位装置和引线引出装置，所述定位装置用于定位所述石墨烯片，所述电极(3)通过所述引线引出装置与所述石墨烯传感元件(1)的外表面连接，构成监测电流的回路。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721542148.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种减振压力表
- 下一篇：一种将应变转化标定为力的实验装置
