[实用新型]物理气相沉积设备有效
| 申请号： | 201721543014.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN207918947U | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李扬德;卢昆;高宽 | 申请（专利权）人： | 东莞颠覆产品设计有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 罗伟添;秦维 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理气相沉积设备 承载装置 本实用新型 动力装置 镀膜产品 发射源 镀膜 壳体 动力装置连接 真空镀膜室 镀膜过程 方式镀膜 加工效率 人工手动 上下振动 一次加工 预定方向 真空镀膜 翻转 省略 挂具 自动化 室内 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理气相沉积设备，其特征在于，所述物理气相沉积设备包括壳体、发射源、承载装置和动力装置，其中，所述壳体的内部形成真空镀膜室，所述发射源、承载装置和动力装置位于所述真空镀膜室内，所述承载装置具有用于容置待镀膜产品的内凹的容置部，所述发射源位于所述承载装置上方，所述动力装置连接至所述承载装置以使位于所述承载装置上的待镀膜产品产生上下振动、由里向外的翻转以及沿预定方向的旋转。
2.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述动力装置为振动式动力装置、电磁式动力装置、机械搅动式动力装置中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述承载装置的容置部的开口朝向所述发射源，所述动力装置连接至所述承载装置的非开口的一侧。
4.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述物理气相沉积设备包括多个承载装置。
5.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述动力装置为所述承载装置提供匀速或变速的动力。
6.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述物理气相沉积设备还包括用于监测待镀膜产品上的镀膜厚度的膜厚监测装置，所述膜厚监测装置位于所述真空镀膜室内。
7.根据权利要求1所述的物理气相沉积设备，其特征在于，所述发射源为蒸发源或溅射源。
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