[实用新型]一种适用于180°电子枪头的定位校正装置有效
申请号: | 201721563140.5 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN207525326U | 公开(公告)日: | 2018-06-22 |
发明(设计)人: | 孙波;张昊;焦涛;付勇;李智超 | 申请(专利权)人: | 利达光电股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人: | 秦舜生 |
地址: | 473000 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 枪头 定位套 定位校正装置 本实用新型 定位套内壁 底座安装 辅助电子 固定螺丝 角度偏差 螺丝孔 水平仪 贴合 桶状 小孔 穿过 垂直 | ||
本实用新型公开了一种适用于180°电子枪头的定位校正装置,包括一个桶状的定位套,所述定位套内壁与电子枪头外周正好相贴合,所述定位套上方设置有一个水平仪,所述水平仪的方向与定位套垂直;所述定位套上与电子枪头螺丝孔相对应的位置设置有小孔,可以让电子枪头的固定螺丝从中穿过。本实用新型可以在将电子枪头向底座安装时对枪头进行定位,辅助电子枪头的安装,避免出现角度偏差。
技术领域
本实用新型涉及电子枪领域,具体的说,是涉及一种适用于180°电子枪头定位校正装置。
背景技术
真空蒸发镀膜是在真空条件下,用电子枪加热坩埚里面的蒸发物质使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸镀是物理气相沉积(PVD)技术中发展最早、应用较为广泛的镀膜技术,尽管后来发展起来的溅射镀和离子镀在许多方面比蒸镀优越,但真空蒸发镀膜技术仍有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,即可沉积非常纯净的膜层,又可制备具有特定结构和性质的膜层等,仍然是当今非常重要的镀膜技术。近年来,由于电子轰击蒸发、高频感应蒸发以及激光蒸发等技术在蒸发镀膜技术中的广泛应用,使这一技术更趋完善。
电子束蒸发是在真空蒸发镀膜中常用的技术手段,电子枪是真空镀膜设备中产生电子束的部件。加速电压采用负高压,阴极处于负电位,而阳极接地电位。阴极由交流供电加热,使之发射电子,电子受阴极电位的影响,在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在水平方向磁场的作用下,电子束得到进一步聚焦并偏转180°射入装有被镀膜料的坩埚中,其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上,达到所需膜层的要求。
在180°电子枪的日常使用中,每过一段时间就需要对电子枪进行清洁,清洁的时候就需要对电子枪的枪头和底座分拆,而清洁完之后,枪头和底座进行组装的时候,经常会出现角度偏差,导致使用时出现光斑不良、灯丝不亮等情况,使电子枪无法正常工作。当前,电子枪头向底座安装时,对枪头定位及角度调试并没有任何的辅助工具,因此导致每次调试校正花费的时间特别的长,严重影响工作效率。
实用新型内容
为了克服现有技术的上述缺点,本实用新型提供一种适用于180°电子枪头定位校正装置,可以在将电子枪头向底座安装时对枪头进行定位,辅助电子枪头的安装,避免出现角度偏差。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种适用于180°电子枪头的定位校正装置,包括一个桶状的定位套,所述定位套内壁与电子枪头外周正好相贴合,所述定位套上方设置有一个水平仪,所述水平仪的方向与定位套垂直;所述定位套上与电子枪头螺丝孔相对应的位置设置有小孔,可以让电子枪头的固定螺丝从中穿过。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果为:将电子枪放入该定位套内时,由于定位套内壁与电子枪外周贴合,而定位套上方设置有水平仪,可以保证定位套垂直于水平方向,继而使电子枪头垂直于水平方向。在将电子枪头装在枪底座上时,将该定位装置套在电子枪枪头上,再将该装置的位置调至其上方水平仪水平,再使用螺丝对电子枪枪头进行固定,即可完成对电子枪枪头的定位及安装,避免出现角度偏差。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1所示为本实用新型结构示意图;
图2所示为本实用新型侧视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述:
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