[实用新型]一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机有效
| 申请号： | 201721572328.6 | 申请日： | 2017-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN207567337U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭俊 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜机 发射 门电极 门内 电极发射装置 本实用新型 输入电极 发射腔 车灯 多轴 等离子体电压 工艺条件 镀膜层 门顶部 壳体 腔体 | ||
【权利要求书】：
1.一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，包括设有腔体的门(1)、设在门内的蒸散装置(2)、设有发射腔的壳体(3)、设在发射腔内的若干电极发射装置(4)，其特征在于：还包括设在门(1)顶部的输入电极(7)、采用输入电极(7)悬设在门(1)内的门电极发射棒(5)；所述的蒸散装置(2)位于门电极发射棒(5)与电极发射装置(4)之间。
2.如权利要求1所述的一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，其特征在于：所述的电极发射装置(4)采用电极发射板或电极发射棒。
3.如权利要求1所述的一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，其特征在于：所述的电极发射装置(4)对称设有两个。
4.如权利要求1～3任一项所述的一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，其特征在于：所述的门电极发射棒(5)设有两根，两根门电极发射棒(5)的中心轴线所在平面与门与壳体(3)的接合面平行。
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