[实用新型]一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备有效
申请号: | 201721575944.7 | 申请日: | 2017-11-22 |
公开(公告)号: | CN207567336U | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 | 申请(专利权)人: | 上海哈呐机电设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 郭俊 |
地址: | 201500 上海市金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜棒 本实用新型 镀膜设备 输入电极 底端 增设 真空镀膜机 导电连接 加热效果 加热丝 压差 改造 保证 | ||
1.一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,包括门、腔体(5)、蒸散设备;
所述的蒸散设备包括第一蒸散铜棒(1-11)、第二蒸散铜棒(1-12)、夹紧导电块(1-2)、支撑螺栓(1-3)、蒸散轴套(1-4)、第一输入电极(6-1)、第二输入电极(6-2);
所述的第一蒸散铜棒(1-11)、第二蒸散铜棒(1-12)上沿各自轴向分别对应夹设有若干对夹紧导电块(1-2);
每对夹紧导电块中的两个夹紧导电块(1-2)上分别采用支撑螺栓(1-3)连接内设压缩弹簧的铜制的蒸散轴套(1-4);
第一蒸散铜棒(1-11)与第二蒸散铜棒(1-12)相对应的两个蒸散轴套(1-4)之间采用加热丝(1-5)连接,其特征在于:
还包括辅助铜棒(2);
所述的第一蒸散铜棒(1-11)的上端采用2个第一导电连接块(2-1)夹合固定,所述的第二蒸散铜棒(1-12)的上端采用2个第一电木(3-1)夹合固定,所述的辅助铜棒(2)的上端采用2个第二导电连接块(2-2)的一端夹合固定;
远离第一蒸散铜棒(1-11)端的第一导电连接块(2-1)的一端还与第三导电连接块(6-12)夹合固定第一输入电极(6-1);所述的2个第二导电连接块(2-2)的另一端还夹合固定第二输入电极(6-2);
所述的第一蒸散铜棒(1-11)的下端与第二蒸散铜棒(1-12)的下端之间采用第二电木(3-2)连接;位于第二电木(3-2)上方处的第二蒸散铜棒(1-12)与辅助铜棒(2)的底端之间采用一对接触导电块(4)夹合固定连接。
2.如权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:所述第一蒸散铜棒(1-11)、第二蒸散铜棒(1-12)、辅助铜棒(2)沿门与腔体(5)的拼合面的横向依次间距排布。
3.如权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:所述的第二电木(3-2)的底面设有支撑座(3-21)。
4.权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:
还包括分别呈方括号形的上托盘支撑(1-61)和下托盘支撑(1-62);
所述的上托盘支撑(1-61)采用上托盘支柱(1-71)悬设在腔体内的上部,且所述上托盘支撑(1-61)围合在位于近第一导电连接块(2-1)下方处的第一蒸散铜棒(1-11)、第二蒸散铜棒(1-12)的外侧;
所述的下托盘支撑(1-62)采用下托盘支柱(1-72)固定在腔体内的底部,所述下托盘支撑(1-62)围合在位于近接触导电块(4)上方处的第一蒸散铜棒(1-11)、第二蒸散铜棒(1-12)的外侧。
5.权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:
所述的2个第一导电连接块(2-1)总体拼合成L形;
所述的2个第二导电连接块(2-2)总体拼合成长方形;第二输入电极(6-2)与辅助铜棒(2)的上端分别位于2个第二导电连接块(2-2)拼合成的长方形的两端。
6.权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:所述门与腔体(5)的拼合面垂直于第一输入电极(6-1)与第二输入电极(6-2)的中心连线。
7.权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:所述的加热丝(1-5)采用钨丝。
8.权利要求1所述的一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备,其特征在于:所述的第一导电连接块(2-1)、第二导电连接块(2-2)、夹紧导电块(1-2)、接触导电块(4)分别采用铜材料。
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